一、卡爾蔡司鎢燈絲掃描電鏡描述：
 

　　1.悠久的電子顯微鏡研究及生產(chǎn)歷史
 

　　ZEISS公司具有悠久的電鏡研究、生產(chǎn)歷史，在世界上一直處于地位。
 

　　當(dāng)今的ZEISS公司納米技術(shù)系統(tǒng)分部(The Nano Technology Systems Division of Carl Zeiss SMT)由德國本部生產(chǎn)基地和英國劍橋廠及其他配件廠組成。積掃描電鏡領(lǐng)域及透射電鏡領(lǐng)域多年的研發(fā)經(jīng)驗，ZEISS電子束技術(shù)在世界上創(chuàng)造了數(shù)個：
 

　　臺靜電式 TEM (1949)
 

　　臺商用 SEM (1965)
 

　　臺全數(shù)字 SEM (1985)
 

　　臺帶有成像濾波器的 TEM (1992)
 

　　臺可變壓力 FE-SEM (2001)
 

　　臺具有Koehler照明的 200kV FE EFTEM (2003)
 

　　臺具有鏡筒內(nèi)校正Omega能量濾波器的EFTEM (2003)
 

　　ZEISS電鏡技術(shù)經(jīng)歷了Cambridge、OPTON、LEICA、LEO等發(fā)展階段，現(xiàn)已具有鎢燈絲掃描電鏡、場發(fā)射掃描電鏡、雙束顯微鏡(FIB and SEM)、透射電子顯微鏡等生產(chǎn)能力的廠家。其產(chǎn)品的高性能、高質(zhì)量、高可靠性和穩(wěn)定性已得到*廣大用戶的信賴與認(rèn)可。
 

　　2.*儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計
 

　　卡爾蔡司鎢燈絲掃描電鏡EVO18采用通用的鏡體設(shè)計，可配備各種不同的附件，適應(yīng)各種分析的需要。并具有靈活的可升級性，可按照用戶研究工作發(fā)展的需要進(jìn)行升級。各種類型的掃描電鏡均有高真空、低真空(或超低真空)型號，以滿足不同樣品檢測的需要。
 

　　3.技術(shù)性能
 

　　高分辨率 ： 目前，鎢燈絲掃描電鏡的分辨率達(dá)到3nm，能夠滿足失效分析、材料研究等方面的需要。
 

　　大樣品室：樣品室內(nèi)部尺寸為Φ365mm×275mm，全對中的樣品臺，可放置的大樣品尺寸為Φ250mm×145mm，樣品臺大承載重量為5kg，方便各種大樣品的分析。
 

　　高效無污染真空系統(tǒng)： ZEISS各種型號的掃描電鏡均采用了渦輪分子泵抽真空，其抽真空速度快、無污染、免維護是其大的優(yōu)勢。還可提供無油的真空系統(tǒng)。
 

　　自動化操作： 新型的掃描電鏡全部采用當(dāng)前的計算機集成自動化控制，采用Windows視窗操作系統(tǒng)、圖形用戶控制界面，全部操作可用鍵盤和鼠標(biāo)完成。樣品臺坐標(biāo)軸全部馬達(dá)驅(qū)動，軟件功能強大，操作非常簡單和方便。
 

　　五軸馬達(dá)自動控制全對中樣品臺：X:125mm Y:125mm Z:50mm T: 0～+90度 R:360度。
 

　　高穩(wěn)定性、可靠性： ZEISS掃描電鏡具有很高的穩(wěn)定性，鏡筒、電路板等均采用了水冷，保證了其工作的穩(wěn)定與可靠。
 

　　4.全面的成像解決方案
 

　　ZEISS的鎢燈絲掃描電鏡可以提供高真空、低真空和超低真空工作模式，對任何材料都沒有局限性，滿足金屬、陶瓷、地礦、化工、半導(dǎo)體、生命科學(xué)等所有研究領(lǐng)域需要。其超大樣品室預(yù)留足夠端口，可搭配能譜、波譜、背散射電子衍射、陰極熒光等，樣品臺可裝加熱臺、冷卻臺和拉伸臺以滿足各種研究需要。其大束流和優(yōu)異的束流穩(wěn)定度支持各種大束流和長時間的分析。
 

　　掃描電鏡的強大功能已使其成為研究所以及工廠的微觀失效分析的一個基本工具，為失效分析提供真實確切的證據(jù)，提高相應(yīng)領(lǐng)域的分析水平。廣泛應(yīng)用于航空航天、交通、材料、冶金、地礦、半導(dǎo)體、生命科學(xué)等方面。
 

　　5.低真空的應(yīng)用
 

　　在失效分析中，除了金屬樣品外，還有很多非金屬樣品，這些樣品導(dǎo)電性很差。要分析這些非導(dǎo)電樣品，樣品的充電是不可避免的。由于電子束打到樣品上使樣品帶電，其產(chǎn)生的電場影響了二次電子的產(chǎn)生和接收，使圖像上呈現(xiàn)一片片亮的或暗的區(qū)域，無法進(jìn)行正常觀察。要對這些非導(dǎo)電樣品進(jìn)行分析，就必須排除樣品充電的影響。其方法之一就是將樣品上的電荷中和掉。ZEISS掃描電鏡所采取的措施是：使樣品室處于低真空狀態(tài)，樣品表面所產(chǎn)生的二次電子與樣品室中的氣體分子相碰撞，使氣體電離，這些氣體離子附著于樣品表面，將樣品上所帶的電荷中和掉。使用的探測器，接收二次電子與氣體分子相碰撞時產(chǎn)生的光子，這些光子也就代表了二次電子信號，使成像不受樣品導(dǎo)電性的影響，在分析這些樣品時能夠得到理想的成像。
 

　　對于一些含水、含油的樣品，可以采用更低的真空度，使水分在該壓力、溫度下不至于揮發(fā)，這樣便可觀察到真實的生物樣品形貌。
 

　　6.具有多種觀察模式，
 

　　分辨率模式、景深模式、分析模式、視場模式、魚眼模式。