維意真空固態源源瓶支持定制

固態源源瓶

維意真空ALD/MO源瓶

*** 源瓶（起泡器）用于固態、液態及氣態超純物料類的封裝，涉及微正壓、

常壓、中低壓的危險化學品，所以對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴苛的要

求。

*** 源瓶特點：

1、所有管件采用316L不銹鋼，內部經400目機械拋光和電化學拋光，Ra≦0.25微米；

2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK隔膜閥供選擇；

3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片；

4、氦質譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s；

5、可盛裝化學品純度≧99.9995;

6、總殘余元素量≦50PPb；

7、墜落試驗，通過國家商檢部門檢測；

8、介質，TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等；

9、可選擇氣動閥門或者實現在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等；

10、可提供非標定做。

維意真空固態源源瓶支持定制

維意真空為高校、科研院所設計加工高真空、超高真空的真空腔體，可以根據客戶的技術要求（PPT）開發設計，也可以按圖（草圖、CAD圖、照片）設計加工。可以加工的真空腔體形狀：方腔、圓柱型、D型及其它要求的形狀；可以加工的真空腔體材質：不銹鋼材質 (304、304L、316,、316L) 、碳鋼材質、鋁材質、有機玻璃材質等。維意真空依托專業的真空產品設計能力、完善的真空機械加工體系以及快速的服務響應支持，承接各種規格型號的真空室開發設計、按圖定制等。我們為高真空或超高真空應用設計及制造的各種真空腔體，包括為高校和科研院所設計真空試驗腔體、真空環境模擬腔體、真空放電測試腔體、真空激光焊接腔體、CVD反應腔體、真空鍍膜室等。

另外，客戶訂制的真空室都可通過我們的工程設計，與您現有的真空系統融合，成為一套功能完整的系統。也可以通過我們的工程設計，預留標準接口及裝配位置，方便您日后增配或更換真空部件，實現系統的升級或功能的轉換。

我們能定制的真空室結構與材質配置