ZLS-26D/M 型氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能和硬件構(gòu)成與 氦質(zhì)譜檢漏儀相同。它由26型檢漏系統(tǒng)與觸摸式大屏幕工控系統(tǒng)組成。是成都儀器廠新開發(fā)的新一代氦質(zhì)譜檢漏儀器。
   儀器采用計(jì)算機(jī)程序控制，通過觸摸式顯示屏按人機(jī)對(duì)話方式進(jìn)行功能操作，具有自動(dòng)尋峰、程序控制、檢漏數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、分析、統(tǒng)計(jì)及打印等功能，具備高度的智能化程度。     
ZLS-26D/M 型氦質(zhì)譜檢漏儀主要特點(diǎn)：
1.1 微機(jī)系統(tǒng)控制，人機(jī)對(duì)話方式操作
1.2 12英寸觸摸式液晶顯示屏，大字符漏率顯示，
    漏率直讀，四種常用漏率單位轉(zhuǎn)換
1.3 自動(dòng)掃描氦峰，具有圖形顯示和保存功能
1.4 動(dòng)態(tài)清除本底
1.5 檢漏過程曲線顯示
1.6 檢漏數(shù)據(jù)保存功能
1.7 聲訊報(bào)警，報(bào)警點(diǎn)可程序設(shè)置
1.8 自帶一套輔助系統(tǒng)，可作噴氦法、吸氦法和背壓法檢漏
1.9 進(jìn)口渦輪分子泵

主要技術(shù)參數(shù)：
1．儀器小可檢漏率：優(yōu)于5×10^-12Pa.m³/s 
2．儀器的反應(yīng)時(shí)間：不大于3s 
3．儀器質(zhì)譜室允許工作的高壓強(qiáng)：1×10^-2Pa
4．儀器測(cè)試口允許的高壓強(qiáng)：1000Pa
5．背壓法檢漏時(shí)間可調(diào)范圍：5～30s
6．儀器的啟動(dòng)時(shí)間：不大于5 min
7. 儀器輪廓尺寸：640×550×980 mm³
8. 儀器重量：約75Kg
9. 儀器使用電源：220V±10％，50Hz
  
主要部件配置：
1.  渦輪分子泵---------國(guó)外品牌  1臺(tái)
2.  前級(jí)泵-------------國(guó)外品牌  1臺(tái)
3.  粗抽泵-------------國(guó)外品牌  1臺(tái) 
4.  質(zhì)譜分析室---------成都儀器廠 1套 
5.  控制線路及軟件-----成都儀器廠 1套
6.  控制電磁閥---------成都儀器廠 1套
7.  校準(zhǔn)漏孔（帶計(jì)量證書 ） 1支
8.  工控計(jì)算機(jī)（12寸觸摸式） 1臺(tái)
9.  噴槍、氣袋   1套