1概覽

Increase your productivity with our powerfully versatile atomic force microscope

Park XE15具有眾多的*功能，是處理多種樣品的共享實驗室、進行多變量實驗的研究院以及晶片故障分析工程師的佳選擇。同時，合理的價格和穩健的功能使之成為業內*的大型樣品原子力顯微鏡之一。

Unique MultiSample™ scan boosts research productivity

Park XE15原子力顯微鏡能夠一次性掃描和測量多個樣品，讓您的效率一高再高。您只需要將樣品放入工作臺，再啟動掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環境條件下掃描樣品，從而提高數據的精確性和穩定性。

Large sample size increases possibilities

Park XE15原子力顯微鏡與大多數的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描大尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。

Features adaptable to any need

Park XE15配有絕大多數的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實驗室的佳配置，能夠滿足每個人的需求。

 2技術信息

The most convenient sample measurements with MultiSample™ scan

Park XE15 MultiSample™ scan system

• 一次性自動多樣品成像

• 特別設計的多樣品卡盤，可裝載多達16個樣品

• 全機動XY軸樣品臺，行程范圍達150 mm x 150 mm

借助電動樣品臺，MultiSample™掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動化步進掃描，實現多區域成像。

流程如下：

1.記錄用戶定義的多個掃描位置

2.在*個掃描位置成像

3.提升懸臂

4.將電動樣品臺移至下一個用戶定義坐標

5.探針接近

6.重復掃描

記錄多個掃描位置十分簡單，您可以輸入樣品-樣品臺坐標或使用兩個參考點校正樣品位置。該自動化功能大大減少您在掃描過程中需要的工作，*提高了生產力。