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化工儀器網>產品展廳>行業專用儀器及設備>其它行業專用儀器>其它專用儀器>MProbe系列 膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)

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MProbe系列 膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)

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上海昊量光電設備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經銷,致力于引進guo外*先進性與創新性的光電技術與可靠產品,為國內Z前沿的科研與工業領域提供優質的產品與服務,助力中國智造與中國創造! 目前,昊量光電已經與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發展前沿,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、精密光學元件等,所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究與國防等。

昊量光電堅持“專業源自專注,專注成就未來”的經營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學、生物顯微、物聯傳感、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統解決方案。

作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業,我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業背景,并在公司接受相關領域的專業培訓,在售前技術溝通、售后產品安裝培訓、產品問題解決、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業化的服務!我們專業高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿易經驗與規范化的制度流程,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創造價值,實現各方共贏!

立足于光電產業,昊量光電始終堅持價值創造與創新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業務領域的新邊疆,立志打造的代理服務品牌!

 

激光器調制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統掃描系統,探測器光子計數器,專用實驗設備,相機

產地類別 進口 應用領域 環保,電子/電池
精度 0.01nm或0.01%

膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)MPROBE - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測厚儀測量厚度可以低至1nm,厚至1.8mm,埃級分辨率,非接觸式無損快速測量。廣泛應用在各種生產或研究中,比如測量薄膜太陽能電池的CIGS層,觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量

 

測量原理:當規定波長范圍的光照射到薄膜上時,從不同界面上反射的光相位不同,從而引起干涉導致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結構相關的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關的光學常數。

 

比如:

半導體(硅,單晶硅,多晶硅)

半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS)

微電子機械(MEMS)

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)

聚合物涂層(聚對二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)

高分子聚合物

 

MProbe膜厚測量儀(測量厚度1nm~1.8mm)操作簡單,只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率(n, k)和表面粗糙度等信息,膜厚測量設備可支持不同光譜范圍,光譜范圍可達200-1700nm,因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。 設備中無移動組件,所以測量結果幾乎是即時得到的;TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明,測量歷史、動態測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結果。

 

膜厚測量儀分類:

 

1、單點膜厚測量——MPROBE-20

MPROBE-20膜厚測量儀是一款臺式單點膜厚測量設備,設備操作簡單,一鍵獲得樣品的厚度和折射率,并可提供不同波段范圍(適用于不同厚度薄膜)選擇。MPROBE-20具有以下幾種型號,客戶可根據自己所需的波長范圍和薄膜厚度進行選擇。

可供選擇型號:

型號

波長范圍

核心配置

厚度范圍

VIS

200nm -1100nm

F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos,  16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp

10nm – 75 μm

UVVISSR

700nm -1100nm

F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp

1nm -75μm

VIS-HR

900nm-1700nm

F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp

1μm-400μm

NIR

200nm-800nm

F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp

50nm – 85μm

UVVisF

200nm -1700nm

F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp

1nm – 5μm

UVVISNIR

1500nm-1550nm

F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp

1nm -75μm

NIRHR

200nm -1100nm

F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption

10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)

 

2、單點手持膜厚測量——MPROBE HC

MPROBE HC膜厚測量儀是一款基于MPROBE-20平臺開發專用于測量曲面和大型零件上的涂層,用手動探針代替樣品臺。

 

主要參數:

精度

0.01nm或0.01%

準確度

0.2%或1nm

穩定性

0.02nm或0.03%

聚焦點尺寸

0.2mm或0.4mm

樣品尺寸

>25mm

厚度范圍

0.05-70um

 

3、聚焦光斑膜厚測量儀——MPROBE 40

MPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚測量系統,該產品將顯微系統和膜厚測量設備結合起來,用于對膜厚的微區測量,光斑可達2μm。該設備集成相機和軟件,可精確顯示待測位置,并同時顯示測量結果。

該設備有不同波長范圍可選,可供選擇的產品型號如下:

 

4、原位測量膜厚測量儀——MPROBE 50 INSITU

MPROBE 50 INSITU是一款支持原位測量膜厚測量儀,該設備采用門控數據采集方式因此可以在高環境光的條件下工作。此外該型號膜厚測量儀支持定制以滿足不同形狀的真空腔。根據可用的光學窗口,支持斜入射和垂直入射。光線可以聚焦樣品表面或準直,探測探頭可以放置在沉積室光學端口內部或外部,由于該膜厚測量儀沒有移動部件,通常測量時間約10ms。

 

 

此外該型號還有多種波段范圍可選,可供選擇型號如下

 

5、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——MPROBE 60

MPROBE 60是一款聚焦并可做mapping的膜厚測量設備,重復精度可達0.01nm,精度可達1nm,mapping面積可達300*300mm。并支持多種波長范圍可選。

可選波長型號:

 

6、在線膜厚測量儀——MProbe 70

MProbe 70是一款高性能膜厚測量儀,主要設計用于24/7生產線上的連續測量。該設備主要有兩種配置一個是在產線上配備多個固定的探頭,第二種是將探頭裝在掃描儀上掃描。

 

 

 

 

 



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