EKUSA 半導體藥液清洗裝置用加熱器ECN型

EKUSA 半導體藥液清洗裝置用加熱器ECN型

特征：

高純度
● 所有接觸液體的部件均采用 PFA
● 無雜質洗脫
● 使用低溫加熱器防止化學變質
● 暴露于堿性化學品時不會變質
可靠性
● 最大使用壓力：0.4MPa
● 最大使用溫度：標準品為80℃，特殊規格可制造至120℃
● 內置過熱報警傳感器

因停電等突然停機時，溫度上升約10℃。即使在高溫下也可**使用
●內置漏水傳感器
●抵抗流量波動和沖擊
維護：
- 使用低溫加熱器，因此使用壽命幾乎是長久的，無需更換加熱器。
- 極其緊湊，因此安裝很容易。

- 可有效利用現有的電氣控制。

產品型號：ECN-30P、ECN-45P、ECN-60P 、ECN-90P、ECN-120P 、ECN-240P

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化學品：SHINETSU 信越化學、THREEBOND 三鍵、TOAGOSEI 東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西、

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