紅外輻射顯微成像系統（微觀溫度分布成像）

IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡系統使您能夠更快、更準確、更可靠地進行半導體故障分析和調試。

IREM-IV相機提供超低噪聲擴展波長PEM成像，在工作電壓為400 mV的10 nm設備上具有經驗證的發射成像靈敏度。自行設計和制造的相機，用于低維護操作，，包括6位透鏡轉盤和超過20小時的LN2持續制冷時間。光學擴展端口為外部激光掃描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升級路徑。

3.3NA SIL物鏡是定制設計的透鏡家族中的新產品，經過優化，可在整個視場上提供衍射限制成像。自對準SIL可自動調平，以符合被測設備的局部輪廓。彎曲設計提供了低的接觸力，因此適用于成像安裝器件或裸晶圓。

集成輪廓傳感器，測量器件表面輪廓，高度分辨率優于10 um。使用與精密x-y-z平臺集成的傾斜臺，可以直接測量和補償從翻轉邊緣或器件彎曲產生的局部表面傾斜。跟自對準SIL相結合，以實現安全可靠的SIL成像。

擴展波長PEM成像通常是熱背景噪聲受限的。IREM-IV提供兩個內部冷卻的濾光輪，因此光譜濾光器或背景限制孔徑適用于任何測量場景。

紅外輻射顯微成像系統（微觀溫度分布成像）指標參數：

相機                                                                                                       運動系統

●   1016×1016 液氮制冷MCT陣列                                                          ●   25nm分辨率

●   像元尺寸 18um                                                                                 ●   100mm運動范圍 （X-Y-Z）

●   400-2500nm 光譜響應范圍                                                               ●    阻尼振動隔離

●   6個位置自動物鏡轉盤                                                                         ●    電動樣品傾斜選項

●   6個位置制冷濾光片/孔徑轉輪

●   大于20小時液氮維持時間

系統尺寸

●   顯微鏡   810mm x 876mm x 813mm， 160kg

●   控制系統  610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物鏡選項：

參考圖例

**詳細技術參數可參考Datasheet或咨詢上海昊量光電設備有限公司。

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