鈮酸鋰/鉭酸鋰晶棒腐蝕機

1、設備概況

               2 設備名稱：鈮酸鋰/鉭酸鋰晶棒腐蝕機

2 設備型號：RHXX-F200

2 產品規格：D=100~200mm H=50-100mm

2 處理能力：MAX8寸晶棒

整機尺寸：約1800mm(L) ×1200mm(W) ×2400mm(H)

2、構造特點

      設備結構外型，整機主要由機架、工藝槽體、機械手系統、排風系統、電控系統、水路系統及氣路系統等組成。

由于工藝槽內藥液腐蝕性強，設備需要做防腐處理：（1）設備機架采用鋼結構骨架包塑；（2）殼體采用瓷白色PP板材焊接成型，制程區由耐酸堿PP板材組合焊接而成：（3）電氣區設置在設備后上部，與濕區和管路區隔離；（4）槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料；（5）機械手探人濕區部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理或為鐵氟龍加工件。

3、安全保護

2 設備探入濕區導線采用耐腐蝕導線并采用氟套管進行保護，防腐防水

2 設有防漏電斷路保護裝置

2 電控部分正壓空體保護，防水防腐

2 配有漏電流斷路保護裝置以及過溫過載保護裝置

2 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統

2 EMO緊急開關位于機臺上方明顯處

2 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警

2 機臺底部設有防漏盤及漏液感知

2 液位異常感知/安全液位保護

2 配有加熱保護，防干燒

4、供/排液裝置

l 控制部分與泵等獨立于酸洗機單獨的柜體內，并配備有獨立抽風系統。

l 輸送介質：酸

l 酸桶：每種介質20L桶（2個）

l 操作形式：PLC自動控制；并配空桶報警（供液）和滿桶報警（排液用）；

l 氣動隔膜泵：每種酸配1臺泵；排液也是1臺泵

l 噪聲：≤70dB

l 設備尺寸：1000mm（L）×1000mm(W)×1500mm(H)（以實際設計為準）

5、售后服務

2 本設備質保期12個月；

2 在質保期間，供方免費提供設備維護，軟件升級；

2 售后服務響應時間：接到通告后2小時內提供電話解決方案。如需要，技術工程師24小時內到達設備工作現場；

2 質保期后供方優先優價向用戶提供所需的備品備件；

2 供方對以上設備提供終身售后服務和技術支持。