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Batch Type 部件鍍膜設(shè)備

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鍍膜部件鍍膜設(shè)備Batch Type

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

高真空基礎(chǔ)In-line Sputter設(shè)備,其核心優(yōu)勢如下:
高生產(chǎn)率:
該設(shè)備的一個完整生產(chǎn)周期僅需220~360秒,具體時間可能因產(chǎn)品而異。
工藝優(yōu)化與品質(zhì)提升:
我們對Sputter工藝進行了全面優(yōu)化,從而顯著提升了產(chǎn)品的品質(zhì)。
引入了Plasma Clean Sputter Plasma Cleaning工藝,有效增強了產(chǎn)品表面的附著力,進一步提升了產(chǎn)品品質(zhì)。
精密儀器與設(shè)備耐用性:
設(shè)備采用了精密的儀器安裝工藝,確保了設(shè)備的穩(wěn)定運行。
設(shè)備具有出色的耐用性,維護周期長,且維護費用低廉。
自主研發(fā)材料:
我們采用了自主研發(fā)的材料,相比其他公司的材料,我們的材料價格更為低廉。
使用自主研發(fā)的材料,我們成功提升了產(chǎn)品的品質(zhì),同時提高了生產(chǎn)效率,并優(yōu)化了Arching等控制功能。
綜上所述,這款高真空基礎(chǔ)In-line Sputter設(shè)備以其高生產(chǎn)率、優(yōu)化的工藝、精密的儀器安裝、出色的設(shè)備耐用性、低廉的維護費用以及自主研發(fā)的高品質(zhì)材料,為相關(guān)行業(yè)提供了顯著的優(yōu)勢和價值。

Chamber & Door∮800 * 1500, 2 Door, STS(SUS)304
Pumping System* RP + MBP + D/P
* Cryo cooled polycold unit
Cooling Devices* Cooling Traps for Pumping Unit
* Cooling Chiller for Cathode
Power Supply* DC Power (Sn, AL, NI, SUS, Sputter)
* Cooling Chiller for Cathode
Control UnitPLC, Touch Screen
Cycle Time4.5~6.5min (根據(jù)產(chǎn)品可能有所不同)





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