在生命科學領域的微納加工技術中,精度和靈活性是推動科學研究與產業應用的關鍵。BIO系列高深寬比 無掩模光刻機,以其1μm的特征尺寸、高深寬比和無掩模光刻技術的創新設計,為微流控芯片制造和其他生命科學應用提供了高效、環保的解決方案。
一、精細特征尺寸,滿足高精度需求
BIO系列無掩模光刻機實現了1μm的精細特征尺寸,確保了高精度圖案化的需求得到滿足,為生命科學領域的微納加工提供了堅實基礎。
二、高深寬比,優化微結構制備
采用更短波長光源和優化光刻工藝,BIO系列實現了更高的深寬比,尤其適合制備厚膠層的微結構,為復雜微納結構的制造提供了可能。
三、無掩模光刻,提高生產效率
BIO系列無需傳統掩模版,直接通過計算機生成的光束進行光刻,大幅提高了生產的靈活性和效率,同時降低了成本。
四、適用于厚膠工藝,助力微流控芯片制造
設備的高深寬比特性使其非常適合于厚膠層的微加工,尤其在對微流控芯片上的微通道、微室等復雜結構的精確制造中表現出色。
五、研究與應用支持,推動科學前沿
BIO系列為生命科學研究提供了強有力的工具,助力科學家在生物技術、藥物篩選、細胞培養等領域探索新的實驗方法。
六、靈活性與定制化,適應市場需求
無掩模光刻技術允許用戶快速更換設計圖案,實現定制化生產,滿足不斷變化的科研需求和市場應用。
七、節省時間和成本,提升研發效率
省去掩模版制作環節,BIO系列顯著縮短了研發周期,降低了生產成本,為用戶帶來經濟效益。
八、環保與可持續性,踐行綠色發展
無掩模光刻技術減少了化學試劑的使用和廢棄物的產生,符合環保和可持續發展的要求。
高深寬比 無掩模光刻機以其高精度、高效率和環保特性,為生命科學領域的研究與應用提供了強大動力。選擇BIO系列,共創生命科學美好未來!