KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀創新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。

輪廓儀探針測量技術的一個優勢是它是接觸式直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這可以對您的工藝進行量化，以確定添加或移除的材料量，以及通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。

特征

• 臺階高度：納米級到1200微米

• 微力：0.03至15毫克

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機

• 梯形失真校正：可消除側視視圖造成的失真

• 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

• 小巧的尺寸：體積最小的臺式探針式輪廓儀

• 軟件：用戶友好的軟件界面

應用

• 臺階高度：2D臺階高度

• 紋理：2D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D翹曲和形狀

• 應力：2D薄膜應力

• 臺階高度：2D臺階高度

• 紋理：2D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D翹曲和形狀

• 應力：2D薄膜應力

工業

• 高校、實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發光二極管

• 太陽能板

• MEMS：微機電系統

• 汽車

• 醫療設備