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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備>FluxDancer 半導體參數分析儀-東譜科技

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FluxDancer 半導體參數分析儀-東譜科技

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東譜科技 Oriental Spectra

東譜科技(品牌商標:Oriental Spectra)是一家專業的光電譜學類儀器及技術方案服務商,由國內外高校專業研究人員和行業工程師聯合發起。團隊核心成員均獲得光機電類碩博士學位,具有5-10年國際實驗室及企業研發經驗,擁有出色的光電子前沿科學研究及光機電產品開發的實力。自主研發的系列譜學檢測產品已廣泛應用于材料科學、生命科學、食品科學、環境科學、石油化工、地質學等領域。公司經過多年發展,目前擁有應用于光電子器件性能表征分析的光電產品線和前沿光譜技術(瞬態、超快)為核心的光譜產品線。具備為太陽能電池、光伏材料與器件、發光材料與器件、光催化、半導體材料等行業研究需要提供對應表征測試分析儀器及測試方案的能力。

光電產品線

□ 電致/光致發光量子效率測量儀HiYield

□ 電致發光測量儀NovaLum

□ 多通道發光/光伏器件穩定性測量儀EL-Lab

□ 太陽能電池光伏特性測量儀Sunshine

□ 瞬態光電流/光電壓/光電荷測量儀TranPVC

□ 多功能光電器件測量系統UltraTran

□ 飛行時間法遷移率測量儀FlyTOF

□ 多通道光伏器件穩定性測量儀PVLab

□ 光探測器綜合測量儀FineDet 990

□ 有機發光分子取向儀AngleLum

□ 半導體光源Pina/NanoQ/Mic/Tuna

□ 多功能樣品夾具HiSam

□ 氣體變溫快速換樣系統MagicK

光譜產品線

□ 光電一體化時間分辨光譜儀HiLight 990

□ 穩瞬態熒光光譜儀HiLight HS15

□ 熒光壽命測量儀HiLight T30

□ 瞬態電致發光光譜儀HiLight E60

□ 熒光光譜儀HiLight S20

□ 寬時域時間分辨單光子計數器HiTime

□ 納秒瞬態吸收(激光閃光光解)光譜儀NanoFly

□ 飛秒瞬態吸收光譜儀FemtoFly





光譜儀、光電檢測儀器、激光器、技術服務

價格區間 面議 應用領域 化工,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合

產品簡介

FluxDancer半導體參數分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設備,專為測量和分析半導體器件的電學特性而設計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術,包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關矩陣等,使其能夠執行電流-電壓(IV)和電容-電壓(CV)測量,以及快速脈沖IV測量等多種測試。

FluxDancer在于其對測試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征,而且廣泛應用于半導體研發、工藝制程開發、器件可靠性測試和光電器件測試等領域。與傳統的多儀器組合相比,FluxDancer的集成設計確保了更高的測量精度和分辨率。

在技術規格上,FluxDancer展現了其性能。它支持廣泛的電壓和電流測量范圍,具備高精度和靈敏度,能夠檢測到低至飛安級別的微小電流,并能夠進行高達兆赫茲頻率的CV測量。此外,FluxDancer還具備強大的數據處理能力,可以在測試后立即進行器件特性分析,支持多種數據保存方式,便于用戶進行后續的分析研究或直接導入建模軟件進行模型提取和特性分析。

FluxDancer的適用性非常廣泛,能夠適應各種擴展性的測試場景。例如,它可以與高低溫恒溫器耦合,進行變溫器件性能測試;與顯微測試系統耦合,進行微納器件測試;與手套箱測試耦合,實現測試過程的惰性氣體保護;與真空發生器測試耦合,實現真空測試;與磁學部件耦合,檢測磁場影響下的電學性能;與晶圓測試平臺耦合,實現對晶圓及后續半導體模組的電學測試等。

FluxDancer半導體參數分析儀是半導體行業中高精度測試工具,它性能和廣泛的應用范圍,為科研人員和工程師提供了一個可靠的測量平臺,助力用戶在半導體領域的探索與創新。

產品特點

□ 電流-電壓(IV)、電容-電壓(CV)、脈沖IV測試等全面功能;

□ 高精度和高分辨率的測量能力;

□ 快速測量和分析,支持多種測量模式;

□ 模塊化設計,易于升級和擴展:配置>10個插槽,支持吸收電流至4A;

□ 適用器件、材料,有源/無源元器件等類型的電子器件;

□ 直觀的用戶界面,簡化操作流程;

□ 支持自動化測試和數據分析。

產品應用

□ 新型半導體

□ 二極管

□ CMOS 晶體管

□ 雙極晶體管(BJT)

□ 分立器件

□ 存儲器

□ 功率器件

□ 光子檢測器件

□ 太陽能電池

□ 發光二極管器件

□ 薄膜晶體管

□ 二維材料

□ EMS

□ 傳感器

□ 納米器件

功能參數

規格配置
主要技術指標
I-V 源測量單元 (SMU)大功率SMU
  • 電壓范圍:± 100 V-±200V

  • 直流電流范圍:± 1A

  • 脈沖電流范圍:± 2A-±3A

  • 最小電流分辨率:0.1 fA

  • 最小電壓分辨率:100nV

  • 電流測量精度分辨率:10fA

  • 電壓測量精度分辨率:0.5uV

  • 直流功率:20W或者40W可選

  • 脈沖功率:480W (電壓160V,電流3A)

  • 脈沖模式最小寬度:50 us,可輸出50us脈沖測試

  • 支持四象限測試

  • 支持2線或4線測試

  • 支持IV-T測試模式,采樣率550ns每點,數據存儲點可以設置為10K,1M,10M或100M

中等功率直流SMU
  • 電壓范圍:±40-±50 V

  • 電流范圍:±1.5A

  • 最小電流分辨率:400 pA

  • 最小電壓分辨率:4 uV

  • 電流測試分辨率:10fA

  • 電壓測量分辨率:0.5uV

  • 支持四象限測試

  • 支持2線或4線測

小功率直流SMU
  • 電壓范圍:±14 V

  • 電流范圍:±40 mA

  • 最小電流分辨率:200 nA

  • 最小電壓分辨率:60 uV

  • 電流測量分辨率:10fA

  • 電壓測量分辨率:0.5uV

  • 支持四象限測試

  • 支持2線或4線測試

支持源表數量
  • 1-5可選

前置放大
  • 可配置前置放大,SMU電流測量分辨率提高至0.1fA

C-V 多頻率電容單元 (CVU)
  • AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)

  • 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍,最小頻率分辨率1mHz

  • 電容測試精度1pF@1MHz≤±0.3%,10pF@1MHz≤±0.15%,10pF@100kHz≤±0.2%

  • ±30 V (60 V差分),內置 DC 偏置源可以

  • 擴展到 ± 210 V(420 V差分)

  • 具有IV、CV自動切換測量功能

  • 支持C-V,C-f電容測量掃描方

脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元 (PMU)
  • 兩個獨立的高速脈沖 I-V 源和測量通道

  • 200 MSa/s,5 ns 樣點間隔

  • ±40 V (80 V p-p ),±800 mA

  • 瞬態波形捕獲模式

  • 任意波形發生器,10 ns 可編程分辨

高壓脈沖發生器單元 (PGU)
  • 兩個高速脈沖電壓源通道

  • ±40 V (80 V p-p ),± 800 mA

  • 任意波形發生器,10 ns 可編程分辨率

I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
  • 在 I-V 和 C-V 之間切換,無需抬起探針

  • 任意端子C-V測量,無需抬起探針

  • 支持 ±210 V DC 偏置

1/f噪聲測試模塊(FNU)
  • 速度8~10s/bias

  • 帶寬1Hz~100KHz

  • 噪聲本底:2*1028A2/Hz

  • 全帶寬下的偏壓為±200

電氣輸入
  • 100V~240V,50/60Hz

  • 可選配UPS不間斷電

軟件系統
軟件
  • Windows操作系統(含嵌入式PC)

  • 圖形化全套測試軟件

  • 樣品放置完畢,僅點擊鼠標即可完成測試,包括對儀表進行控制和提取測試數據,支持曲線追蹤功能,實時觀察器件擊穿和飽和情況

  • 支持太陽能電池、發光器件、MOSFET、BJT雙極器件、晶體管器件、晶體管電容器、電阻器、二極晶管等器件的測試例程





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