產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
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價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,鋼鐵/金屬,航空航天,綜合 |
產品簡介
X軸采用閉式氣浮導軌導向,中間增加氣浮承載面,防止中間下塌。直線電機驅動及光柵尺閉環反饋,大理石材質作為機體,熱穩定性好,用于掃描運動。
YZ軸采用直線電機驅動,交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋,獲得納米級定位抖動。Y軸安裝到X軸上,Y軸長度等于X軸寬度,保持移動的穩定性。Z軸安裝到大理石龍門橋架上。
C軸采用氣浮軸承、力矩電機及光柵尺閉環反饋,閉式氣浮結構,對結構進行優化設計,氣浮軸承表面和創新的預壓高剛度,側向放置承載能力大,解決氣浮軸抱死的問題。軸向跳動誤差優于100nm,徑向跳動誤差優于150nm。B軸直驅力矩電機驅動,精密軸環導向及光柵尺閉環反饋,用于角度調整,微動步距0.5arc sec。
大理石機體因強度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好,應用于運動臺上質量可靠,品質有保障。大理石做模態分析,優化結構尺寸,可依據客戶的要求做最終設計。
規格指標