FE-5000型鐵電薄膜測試儀

   FE-5000W型電致應變鐵電測試儀是一款高量程款的鐵電性能材料測試裝置，這款設備可以適用于鐵電薄膜、鐵電體材料（既可塊體材料）的電性能測量，可測量鐵電薄膜電滯回線、可測出具有非對稱電滯回線鐵電薄膜值。可以進行電致應變測試，可以蝴蝶曲線功能，設備還可以擴展高溫電阻，高溫介電，電容-電壓曲線，TSC/TSDC等功能。本儀器是從事壓電材料及壓電元件生產、應用與研究部門的重要設備之一，已經在各大高校和科研院所廣泛使用。

二、主要技術指標：

1、輸出信號電壓：：±5000V（可擴展至10 kV）,可擴展電致應蝴蝶曲線功能

2、溫度；室溫-200℃，控溫精度：±1℃

3、控制施加頻率0.01到250KHz（陶瓷、單晶，薄膜）PC端軟件控制自定義設置；

4、控制輸出電流0到±50mA連續可調，PC端軟件控制自定義設置。

5、動態電滯回線測試頻率范圍 0.01Hz-5kHz

7、最小脈寬保持時間為20us;最小上升沿時間為10us;

8、疲勞測試頻率500kHz（振幅10 Vpp，負載電容1 nF）；使用高壓放大器后疲勞頻率最高5kHz;

9、測試速度：測量時間《5秒/樣品•溫度點   

10、樣品規格：塊體材料尺寸：直徑2-100mm，厚度0.1-10mm

11、主要功能： 動態電滯回線DHM，靜態電滯回線SHM，I-V特性，脈沖PUND，疲勞Fatigue，電擊穿強度BDM，漏電流LM，電流-偏壓，保持力RM，

10. 電荷解析度不小于10 mC;

漏電流測量范圍:1pA~ 20 mA，分辨率不低于0.1pA;

12、控制方式：計算機實時控制、實時顯示、實時數據計算、分析與存儲

13、軟件采集：自動采集軟件，分析可以兼容其他相關主流軟件。

14、測試精度：±0.05%

15、內置電壓：±20V

鐵電參數測試主要性能指標：

a. 外接5 kV高壓放大器；

b. 動態電滯回線測試頻率范圍0.01 Hz ～ 1 kHz；

c. 最大電荷解析度：10 mC；

d. 疲勞測試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負載電容1 nF）；

e. 漏電流測量范圍 1 pA ～ 20 mA，分辨率0.1 pA；

f. 配有高壓擊穿保護模塊。

本測試系統由主控器、高壓放大器、變溫綜合測試平臺（配鐵電測試盒）或高低溫探針臺（配高壓探針）、計算機及系統軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發生器、內置驅動電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數轉換器、通訊總線等功能，主控器提供擴展外置高壓放大器接口，可擴展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統軟件包括可視化數據采集和管理功能，測試時，無需改變測試樣品的連接，即可實現滯回，脈沖，漏電，IV等性能測試。

本鐵電參數測試儀/PUND測試采用改進的Sawyer- Tower測量方法，與傳統的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環節，容易定標和校準，并且能實現較高的測量準確度。

該系統測試功能：

動態電滯回線DHM

I-V特性

脈沖PUND

疲勞Fatigue

漏電流LM

電流-偏壓。