LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L

質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。

由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。

典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

離子注入（BF?/PH?精確配氣）

2. 新能源領(lǐng)域：

燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）

鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）

光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）

4. 科研實驗：

催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）

質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）

環(huán)境模擬實驗（溫濕度聯(lián)動控制）

質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

精準控制能力：

采用自適應(yīng)PID算法，在10%-100%量程內(nèi)保持線性度±0.5%

零漂移補償技術(shù)，長期穩(wěn)定性<±0.5%/年