TG420MR Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
參考價 | ¥ 7920 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 OSAKA大阪真空
- 型號 TG420MR
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/3/29 14:55:19
- 訪問次數 38
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應用領域 | 環保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設計,運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數據。
各種通信規格:并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準:NRTL/SEMI-S2/CE
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設備
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
結構與工作原理
(1)核心組件
轉子葉片:多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片(轉速約20,000~90,000 RPM)。
定子葉片:與轉子交錯排列,形成氣體通道。
電機:高頻交流電機或磁懸浮軸承電機(避免機械磨損)。
排氣口:連接前級泵(如旋片泵),排出壓縮后的氣體。
(2)工作原理
動量傳遞:高速旋轉的葉片撞擊氣體分子,使其向下級運動(分子流態下有效)。
壓縮比:每級葉片對氣體進行壓縮,最終由前級泵排至大氣。
工作壓力范圍:依賴分子流狀態(需氣體分子平均自由程>葉片間距)。
?? 注:渦輪分子泵在**分子流態(壓力<10?1 Pa)**下效率高,需避免大氣壓下啟動(會過熱損壞)。