珀金埃爾默企業管理（上海）有限公司
NexION 5000 ICP-MS 在超純水分析中的應用
檢測樣品：水
檢測項目：重金屬
方案概述：超純水（UPW）被廣泛地用于半導體器件生產中所有濕法工藝步驟，包括晶片沖洗和化學浴中化合物的稀釋。在這些關鍵步驟中，可能會吸收來自化學浴和沖洗水中的污染物，然后通過一系列的化學和電化學反應沉淀到硅表面。在成品的重點區域中，如果金屬污染物的濃度達到50ppq，就會改變集成電路部件的電氣參數，導致其無法通過后的電氣測試。因此超純水純度測定至關重要。
超純水（UPW）被廣泛地用于半導體器件生產中所有濕法工藝步驟，包括晶片沖洗和化學浴中化合物的稀釋。在這些關鍵步驟中，可能會吸收來自化學浴和沖洗水中的污染物，然后通過一系列的化學和電化學反應沉淀到硅表面。在成品的重點區域中，如果金屬污染物的濃度達到50 ppq，就會改變集成電路部件的電氣參數，導致其無法通過后的電氣測試。因此超純水純度測定至關重要。在SEMI F63-0918《半導體加工中超純水使用指南》中，除B（50 ppt）和Ni（3 ppt）外，26 種金屬污染物的目標值應小于1 ppt。
在此，我們將展示出珀金埃爾默化學高分辨多重四極桿ICP-MS 儀器NexION 5000 獲得的超純水分析結果。NexION 5000 四組四極桿組成的多重四極桿ICP-MS 質譜平臺，通過各四極桿的不同質量分辨能力和工作模式，結合碰撞反應池技術，實現化學高分辨，獲得干擾消除。
相關產品清單
溫馨提示：
1.本網展示的解決方案僅供學習、研究之用，版權歸屬此方案的提供者，未經授權，不得轉載、發行、匯編或網絡傳播等。
2.如您有上述相關需求，請務必先獲得方案提供者的授權。
3.此解決方案為企業發布，信息內容的真實性、準確性和合法性由上傳企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
最新解決方案
該企業的其他方案
- Avio 200 ICP-OES測定高純石英砂中16種微量元素
- 未知聚合物的熱重分析
- GC/MS：根據EPA方法525優化76種農藥的快速分析方法
- 使用NexION 1100G ICP-MS測定正極材料中的氯化物
- 新污染物五氯酚的測定 | 氣相色譜法
- 新污染物三氯殺螨醇的測定 | 液相色譜-三重四極桿質譜聯用法
- 新污染物中二氯甲烷、三氯甲烷、六氯丁二烯的測定 | 頂空-氣相色譜法
- 使用FL 6500熒光光譜儀和NanoOrange染料進行蛋白質定量
- 使用NexION 5000 SP-ICP-MS分析半導體級硫酸中的金屬納米顆粒
- 使用NexION 1100 ICP-MS檢測和驗證藥品中的元素雜質
業界頭條
- 氣相色譜分析儀中標結果公告
-
項目名稱：吉化北方錦江石化有限公司35萬噸/年C8、C9綜合利用項目氣相色譜分析儀，項目編號：072...
