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LCM025電容膜片真空計
用途
電容膜片真空計LCM025系列用于各壓強范圍氣壓的絕對測量。
此電容膜片真空計可通過客戶定制的控制單元進行操作。
工作原理
陶瓷膜片因壓強變化而偏移.偏移反應為電容量的變更, 由數(shù)字電子學測量并轉換成模擬線性輸出訊號。
輸出訊號與氣體類型無關。
LCM025電容膜片真空計
真空計調(diào)零
真空計在工廠按 "直立" 的方位校準 (® "校準測試報告")。
當真空計剛開始工作時, 建議執(zhí)行零點調(diào)整。
由于長期工作或污染, 可發(fā)生零點漂移, 必須調(diào)整零點。
為調(diào)整零點, 將真空計工作在相同的室溫條件下和與常規(guī)使用時同樣的安裝方位。
輸出訊號 (測量的訊號) 與安裝方位有關, 垂直與水平安裝方位之間的訊號差別為:
全量程 DU / 90°
1000 Torr ≈2 mV
100 Torr ≈10 mV
10 Torr ≈50 mV
1 Torr ≈300 mV
ZERO 調(diào)整
調(diào)整零點可通過:
· 真空計上的
· RS232C 接口
如真空計通過控制器運行, 必須在控制器上調(diào)整整個測量系統(tǒng)的零點:
· 首先,調(diào)整真空計的零點,接著調(diào)整控制器的零點。
1 將真空計抽空至如下表的壓強:
如真空計的最終壓強過高無法調(diào)零 (>25% 全量程),零點調(diào)整未能實現(xiàn), 則指示燈
如遇到這種情況,,啟用工廠設定值重新調(diào)零 (激活工廠設定值 (工廠復位))。
2 運行真空計至少2 小時 (直到訊號穩(wěn)定)。
3 用針桿 (最大?1.1毫米) 短暫地按下
零點調(diào)整后, 真空計自動回到測量模式,
· 當最終壓強達到時,,訊號輸出是負值 (< -20 毫伏)
· 零點調(diào)整失敗。
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