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產(chǎn)品特點：
● 快速響應設定壓力值
● 控制器的zui小全量程可低至10Torr
● 將電容薄膜規(guī)、正常關閉的比例控制閥和閉環(huán)控制的電路系統(tǒng)集成于一個精巧的儀器里
● 內(nèi)部壓力薄膜規(guī)提供了精確、可靠和很寬的量程
● 可以用于上游或下游壓力控制的應用
● 金屬密封和彈性密封可選
● 2個壓力設定用于工藝控制
● 符合歐洲CE認證標志
技術參數(shù)：
壓力量程范圍： 10，100，1000 Torr，60 Psi，100 Psi
流量量程范圍： 50,200,1000,2000,5000，10000，20000，50000Sccm
zui大過壓限制： 45 Psia 或2倍于全量程
zui大差壓壓力限制：150 Psi 用于 50 到10000Sccm
30 Psi 用于 20000 Sccm 到 50000 Sccm
控制方式： 下游控制（標準），上游控制（可選）
孔徑zui大量程：50，200，1000，5000 Sccm
zui大壓力差：150 Psi
控制方式：下游控制
壓力測量精度：讀數(shù)值的±0.5%（包括線性誤差，滯后誤差和重復性誤差）
響應時間：小于100毫秒
壓力控制：1）量程：全量程的2% 到 *
2）精度：全量程的±0.2%
3）響應時間：小于1秒（到達壓力設定值）
電源要求：±15VDC（±5%）,200 mA
模擬輸出：壓力：0-10 VDC,線性輸出（0-5 VDC可選）
電氣通訊方式：模擬15針“D”型
電纜長度：小于30米
材質(zhì)：316L不銹鋼
泄露率：小于1*10ˉ9 scc/sec He
接頭法蘭：4 VCR Male，1/4”卡套，8 VCR Male
電氣認證：符合歐洲CE認證