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技術數據

2.6 升的 Low Cost 等離子體實驗室設備 ZEPTO 配有手動型 和 Basic PC 控制系統，主要用于以下領域:

小批量生產, 分析 (REM, TEM), 醫療技術, 滅菌, 研究和開發部門, 考古, 紡織技術, 塑料技術

1.基本裝備：

   根據組件/選裝件，外殼規格會有所不同

   腔室容積：根據具體版本 1.7 - 2.6 升

供電電源：230 V

2.氣體供給：針型閥、質量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室

   帶蓋圓形硼硅玻璃 (UHP)（大約 ∅ 105 mm，長 200 mm 或長 300 mm）

W6（約 ∅ 160 mm，長 180mm）

4.裝載件

產品支架：鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃

5.電極：

單層或多層

真空腔室外部的一對電極

6.控制系統：手動、Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)

7.壓力測量：Pirani

8.計時器：數字 、模擬

9.發生器：

頻率：

40 kHz：功率 0 - 100 W

13.56 MHz：功率 0 - 200 W