brooks真空機械手臂MAG 7 F應(yīng)用于真空集束型機臺的晶圓輸送機械手臂。MagnaTran® 7 Frogleg™ （MAG 7 F） 機械手臂集成了 MagnaTran 產(chǎn)品系列的所有技術(shù)優(yōu)點，實際平均故障周期 （MCBF） 大于 1100 萬次。

brooks真空機械手臂MAG 7 F設(shè)計使用了少的移動部件。其直接電磁離合器驅(qū)動不具有動態(tài)真空密封，這樣便減少了摩擦和磨損，從而減少故障。通過消除步進電機，可以在未接觸邊緣的情況下減小振動，減少顆粒，并實現(xiàn)較高的重復(fù)定位精度。 經(jīng)過現(xiàn)場驗證的一體式電子裝置不僅占據(jù)了更小的空間，還降低了對電子干擾的敏感性，從而產(chǎn)生更高的可靠性。 

brooks真空機械手臂MAG 7 F主要特性：
1.能夠承載的晶圓尺寸從300mm的標準件到非標準的襯底
2.具有權(quán)的 Frogleg™ 手臂 
3.經(jīng)過驗證 MCBF 超過 1100 萬次的可靠性
4.具有權(quán)的時間you軌跡™
5.Workspace 用戶可編程的機械手臂訪問區(qū)
6.晶圓根據(jù)外部感應(yīng)自動居中
7.CE 和 SEMI S2 認證
特色：
1.與xian進的集束型工具兼容
2.具有高通量
3.占用空間小
4.VHV 兼容性
5.較低的擁有成本
6.快的運行速度
7.適用性
8.晶圓和設(shè)備安全
9.促進已增加產(chǎn)能的升級
高通量可以通過 Time Optimal Trajectory™ 算法來實現(xiàn)，該算法可使輸送速度比 S 曲線剖面快 15-30％。持續(xù)轉(zhuǎn)動性能排除了運動 180 度以上和直驅(qū)式伺服的需要，通過 Brooks 的專有 DSP 控制器可以大限度地減小振動。
Workspace 用戶可編程訪問區(qū)可防止手動操作期間可能發(fā)生的碰撞，從而確保高價值晶圓和加工設(shè)備的安全。通過調(diào)制解調(diào)器連接的遠程服務(wù)終端上的圖形界面可以完成全面診斷。先前事件的錯誤日志帶有時間和日期戳。循環(huán)計數(shù)器位于非易失性存儲器中，并以圖形方式對關(guān)鍵的性能特征進行監(jiān)控。多傳感器接口連接通過允許接口直接連接到基板傳感器和其他外設(shè)模塊（如閥門）的高速數(shù)字 PIO 完成。實時信息允許通過運動組件的邊緣檢測來進行位置引用。為了安全起見，可能在宏序列中引用晶圓。