傳感器按照其制造工藝分類
集成傳感器薄膜傳感器 厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器是用標準的生產硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。
通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

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傳感器按照其制造工藝分類
集成傳感器薄膜傳感器 厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器是用標準的生產硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。
通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底（基板）上的，
相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時，
同樣可將部分電路制造在此基板上。 　　
厚膜傳感器是利用相應材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的，
基片通常是Al2O3制成的，然后進行熱處理，使厚膜成形。 　　
陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝（溶膠-凝膠等）生產。 　　
完成適當的預備性操作之后，已成形的元件在高溫中進行燒結。
厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性，在某些方面，
可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。 　　
每種工藝技術都有自己的優點和不足。由于研究、
開發和生產所需的資本投入較低，
以及傳感器參數的高穩定性等原因，
采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。
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：宋珍
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