GB/T 43965-2024 電子級(jí)正硅酸乙酯
范圍
本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級(jí)正硅酸乙酯的技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、型式試驗(yàn)、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存的要求，描述了試驗(yàn)方法、分析方法與測(cè)定結(jié)果評(píng)價(jià)。
本文件適用于沉積二氧化硅的電子級(jí)正硅酸乙酯。
術(shù)語(yǔ)和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語(yǔ)和定義。
技術(shù)要求
電子級(jí)正硅酸乙酯應(yīng)符合表1的規(guī)定。
試驗(yàn)方法
試驗(yàn)環(huán)境
水分測(cè)試在氮?dú)獗Ｗo(hù)的手套箱中進(jìn)行，箱內(nèi)參數(shù)壓力設(shè)定為0.42mbar，氧含量的體積分?jǐn)?shù)不大于2×10-0，水含量的體積分?jǐn)?shù)不大于2×10-6。
水分含量的測(cè)定
應(yīng)按 GB/T 26793 中的規(guī)定執(zhí)行。
可采用其他等效的方法測(cè)定正硅酸乙酯中水含量。當(dāng)測(cè)定結(jié)果有異議時(shí)，按 GB/T 26793 規(guī)定的方法為仲裁方法。
GB/T 26793-2011 庫(kù)侖法微量水分測(cè)定儀
京都電子KEM 庫(kù)侖法卡爾費(fèi)休微量水分測(cè)定儀 MKC-710S
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