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海德漢光柵尺heidenhain德國產品介紹

 計量光柵技術的基礎是莫爾條紋(Moire fringes),1874年由英國物理學家L.Rayleigh首先提出這種圖案的工程價值，直到20世紀50年代人們才開始利用光柵的莫爾條紋進行精密測量。1950年德國Heidenhain初次DIADUR復制工藝，也就是在玻璃基板上蒸發鍍鉻的光刻復制工藝，這才能制造高精度、價廉的光柵刻度尺，光柵計量儀器才能為用戶所接受，進入商品市場。1953年英國Ferranti公司提出了一個4相信號系統，可以在一個莫爾條紋周期實現4倍頻細分，并能鑒別移動方向，這就是4倍頻鑒相技術，是光柵測量系統的基礎，并一直廣泛應用至今。

 德國Heidenhain公司1961年開始開發光柵尺和圓柵編碼器，并制造出柵距為4μm(250線/mm)的光柵尺和10000線/轉的圓光柵測量系統，能實現1微米和1角秒的測量分辨力。1966年制造出了柵距為20μm(50線/mm)的封閉式直線光柵編碼器。在80年代又推出AURODUR 工藝，是在鋼基材料上制作高反射率的金屬線紋反射光柵。并在光柵一個參考標

海德漢光柵尺heidenhain德國產品介紹

海德漢光柵尺的原理基于光學干涉。光柵上的編碼是一系列平行的透明和不透明條紋，當光線穿過這些條紋時，會發生干涉現象。讀取頭中的光電元件會檢測到這種干涉，并將其轉換為電信號，從而確定物體的運動狀態。

海德漢光柵尺廣泛應用于機械制造、自動化控制、醫學和科學研究等領域。它可以測量高精度的位移、速度和加速度，具有精度高、可靠性好、使用壽命長等優點。在機床加工中，海德漢光柵尺可以用于測量工件的位置和旋轉角度，從而保證加工精度。在醫學領域，海德漢光柵尺可以用于測量人體運動狀態，如步態分析和手術導航。

海德漢光柵尺heidenhain德國產品介紹

HEIDENHAIN海德漢光柵尺，也稱為HEIDENHAIN海德漢光柵尺位移傳感器（HEIDENHAIN海德漢光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。HEIDENHAIN海德漢光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。HEIDENHAIN海德漢光柵尺按照制造方法和光學原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。

HEIDENHAIN海德漢光柵尺以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個HEIDENHAIN海德漢光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋" 。嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。