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延遲線探測器（DLD）系統

    采用了研發的延遲線探測器。既可以生成譜圖又可以生成圖像。各測定模式均可以提供正確的脈沖計數。不僅可以在描譜儀模式下，通過128個檢測通道提供高靈敏度的測定，還可以不通過分析器的能量掃描，利用快速非掃描的“快照”譜儀模式瞬間測定窄掃描譜。成像模式能夠提供256×256像素、空間分辨率小于3μm的高分辨率圖像。 

可集成多種分析技術

    AXIS ULTRA DLD標準配備了具有多個標準窗口的樣品處理室，作為樣品的前處理腔，功能強大且擴展性強。能夠對應樣品加熱制冷及具有反應功能的樣品反應池，多樣品停放器等許多選購件。樣品分析室可以增加UPS、FE-AES、ISS等分析方法，可以組合成復合分析裝置。

平行成像和微區譜圖

    采用平均半徑達165mm的大型靜電半球分析器與成像的球鏡分析器（Kratos）組合的合成分析器。在進行化學狀態分析、深度方向分析等的譜儀分析時，通過大型靜電半球分析器能夠提供高能量分辨率、高靈敏度的測定。多點微區測定時利用輸入透鏡內的光電子偏轉系統，能夠實現準確的點分析。 利用球鏡分析器進行平行成像。光電子成像的空間分辨率小于3μm，能夠在譜儀測定的同時，極短時間內得到高分辨率圖像。