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利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量。

傅立葉紅外光譜儀FTIR*適用

集成賽默飛世爾Thermo Fisher制造的型號FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用于一般的振動光譜。

光譜橢偏儀SENDIRA用于測量薄膜厚度，折射率，消光系數以及體材料，單層和多層堆疊膜的相關特性。特別是覆蓋層下面的層在可見范圍內是不透明的，現在也可以進行測量。同時可以分析材料的組成和大分子基團和分子鏈的走向。

安科瑞泰SENDIRA紅外光譜橢偏儀

SENTECH光譜橢偏儀SENDIRA是專門為紅外應用(FTIR)設計的。緊湊型測量臺包括橢圓儀光學部件，計算機控制角度計，水平樣品臺，自動準直透鏡，商用FTIR和DTGS或MCT探測器。FTIR在400 cm-1 ～6,000 cm-1 (1.7 µm – 25 µm)光譜范圍內提供了*的精度和分辨率。

光譜橢偏儀SENDIRA主要用于薄層的振動光譜分析。應用范圍從介質膜、TCO、半導體膜到有機膜層。SENDIRA是由SpectraRay/4 軟件操作，另外還提供了FTIR軟件。