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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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小型等離子清洗機(jī)

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品       牌:

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

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更新時(shí)間:2025-03-11 15:12:27瀏覽次數(shù):3515次

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小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
    小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

    技術(shù)參數(shù)

主要特點(diǎn)    采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。
   可短時(shí)間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物。
   清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。
   可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
   清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌.
   樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻.
   廣泛應(yīng)用于光學(xué),光電子學(xué),電子學(xué),材料科學(xué),生命科學(xué),高分子科學(xué),生物醫(yī)學(xué),微觀流體學(xué)等領(lǐng)域.
參數(shù)    電壓:AC220V  10A
   消耗功率:<500W(包括真空泵)
   RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
   腔體:Φ190mm×98mm
   石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm
   內(nèi)腔:Φ165mm×55mm
   清洗電極:Φ120mm
   樣品臺(tái):Φ150mm,有效尺寸Φ140mm
   樣品臺(tái)與電極間距:15mm-50mm可調(diào)
   抽氣管:Φ12mm
   極限真空度:0.1Pa
   工作真空度:60Pa-500Pa
   氣路數(shù)量:2路(選裝)
   流量控制器數(shù)量:1、2
   流量顯示儀:2通道
   氣路接口:Φ6mm
   加熱樣品臺(tái):Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)
   冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
   工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對(duì)濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m
產(chǎn)品規(guī)格  尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)
  重量:20kg(不含真空泵)
可選配置    加熱樣品臺(tái)
   流量控制器(量程10、50、100,多可增加2個(gè)通道)

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