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供應日本CKD小型流量感測器喜開理感測器
小型流量感測器可以用在機械、汽車、計量儀器、精密儀器等域和半導體、
生物等*域以及醫療、食品域等上，用途非常廣泛多樣。
適用流體
感測器的用途
各種泄露檢查
針孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認
焊接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理
有否故障、確
可處理的流量量程大。
內嵌速控器型（特別訂購
以輕松對流量進行控制。
可處理的流量量程大。
①與壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調節、誤檢情形。
③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測，可以管理傾斜吸附等吸附錯誤。
利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此
時根據流量可以準確地進行判別。
激光激發器、半導體制造裝置的N2氣體管
處置的流量量程大。
內嵌速控器型（特別訂購品）可以
輕松對流量進行控制。
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認
與壓力感測器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時）
小型流量感測器（使用FSM2-※010時） 壓力感測器
落座確認
流量差 ：830mL/min
壓力差 ：2kPa
吹掃氣體的管理對于保持設備裝置的
是*的。
由于是超小型產品，因此很容易裝入設備
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