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智能氮氣柜是通過向箱體內充入高純度氮氣來有效的降低氣密性良好的箱體內的濕度和氧含量，且可以的控制和穩定在預設的濕度范圍內，從而達到防氧化，防潮，防霉變，防銹等目的。三清儀器智能氮氣柜除濕，防氧化，綠色低能耗，內置程控感應系統根據箱體內濕度自動供氣和切斷氮氣，節約能源，延長使用壽命。
潔凈室內精密芯片使用氮氣柜存放時，推薦使用潔凈等級更高的不銹鋼材質。三清儀器不銹鋼氮氣柜采用SUS304或者SUS201材質，可選鏡面或者拉絲工藝制作，氮氣柜自身不產塵，可應用在Class 1000或更高等級的無塵室中，更好的保護元器件芯片的安全。氮氣柜拓展性能好，支持各類非標訂制，方便用戶的使用習慣，提高用戶的使用體驗感。三清儀器氮氣柜推薦使用99.99%純度及以上的氮氣，氮氣合理進氣壓力韋0.2 – 0.4 MPA，搭配多點進氣系統，均勻供氣，氮氣分布更均勻，保護性更好。
| 產品容積 | 內徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下2開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右2開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右2開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下2開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調節 | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節氮模組 | 多點供氣系統，SMC節氮模組 | |
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