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氫化物發生器用于分析可以形成氫化物蒸氣和冷蒸氣的元素（As/Bi/Sn/Sb/Te/Se 和Hg），這些元素的檢出限可以達到ppt 水平。
ICP-oTOFMS OptiMass 9600低的檢出限，可低至ppt 范圍•
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