南京實驗室特氣供氣系統設計安裝特氣供氣系統

半導體、光伏、LED、TFT_LCD、光纖、科研院等行業的客戶在工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體SiH4, NH3, Cl2等；特氣供氣系統就是把各種特種氣體在滿足工藝制程要求的純度、壓力和流量的前提下安全穩定的供應到工藝設備內。

南京實驗室特氣供氣系統設計安裝特氣供氣系統組成部分

主要部件：特氣系統主要包括氣源供應(特氣柜、BSGS)、特氣分配(VMB)、特氣輸送(管道閥門等)、工藝過程控制(PLC自動控制器)、以及氣體泄漏偵測、尾氣處理等主要模塊。

二、特氣柜/氣瓶架

用于半導體和LCD微電子等行業的特殊氣體輸送系統，特氣柜通常用于有毒、易燃、腐蝕性氣體，氣瓶架可用于惰性氣體。

☆根據客戶實際情況自行設計、量身定制，安全美觀、實用方便；

☆柜體采用3mm鋼板，堅固防爆，觀察窗口采用安全玻璃；

☆PLC控制和觸摸屏操作，實現全自動鋼瓶切換操作，簡便直接；

☆可配備多路通訊端口供選擇；

☆底座可加裝電子秤；

三、氣體分配箱/分配盤面

適用于半導體和微電子行業特殊氣體輸送系統，分配箱多用于有毒、易燃、腐蝕性氣體，分配盤面一般用于惰性氣體；

☆主要起到對特氣柜出來的氣體進行二次分配的作用；

☆分為全自動、半自動和手動控制；

☆吹掃、真空功能可選；

       
四、特氣輸送管路/二次配管

五、尾氣處理系統

根據需處理的氣體種類不同，通過合適的燃燒、水洗、吸附、化學反應等對工藝機臺排放的有毒有害尾氣進行無害化處理，達到環保排放標準。

六、氣體監控系統

GMS/UMS氣體*監控系統，通過上位機遠程顯示特氣房內BSGS/GC/CDS實時運行界面以及實時運行數據, 實時顯示各個偵測器的數據以及偵測器的運行狀態, 實時顯示VMB壓力值, 雙套管夾套壓力數據采集, 當壓力超限后報警；相應BSGS/GC/VMB的緊急切斷, 當發生2級氣體泄漏報警后，系統自動根據預先設定的程序切斷BSGS/GC的主供氣閥門； 數據及報警的歸檔和打印, 重要的數據和報警都進行歸檔，可以查看歷史數據以了解過程中的工作狀況，并可以將需要的數據打印出來。

七、特殊定制服務

對客戶儀器設備上需要的各種非標高純潔凈系統提供高質量代加工服務。