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瑞士VAT真空擺閥 16.2 高真空擺式隔離閥提供了可靠的隔離性能，并結合了低顆粒數和低顆粒活化。特別平滑的開閉運動造就了優秀的顆粒性能。 它是苛刻工藝中隔離要求的理想選擇，例如y應用在蒸發器和濺射中。16.2閥門提供了一個3位氣動、單作用帶關閉彈簧或標準氣動、單作用帶關閉彈簧。 由于其特殊的分體式設計，它允許在不拆卸管道連接或工藝室連接的情況下進行維護。其纖細的設計使16.2尺寸的隔離閥可以直接安裝在工藝室中，減少了通常在工藝室-閥門-泵連接中所需要的體積。 16.2系列很容易集成到各種真空工藝憑借其堅固的設計和各種設計選項。 16.2系列已經安裝在全球數百個不同工藝條件下的批量和在線生產系統中，它在各方面都證明了其出色的性能。 16.2高真空擺式隔離閥有鋁制的，閥體經硬陽極處理或鍍鎳，有ISO-F、ASA-LP和JIS的標準法蘭接頭。可以集成客戶特定的法蘭。其他更多的選擇是用于粗加工（旁路）、通風或用于量具、加熱方案的端口，以及板上的硼硅酸鹽或藍寶石玻璃窗口。 16.2 高真空擺式隔離閥的主要特點
特點：
在嚴酷的工藝環境中具有可靠的隔離作用 低沖擊操作，低顆粒活化 工藝惰性 - 殘余氣體（RGA）非常低
優勢：
瑞士VAT真空擺閥 | 尺寸 |
| DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"),
DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20") |
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| 驅動器 | 氣動 | 帶閉合彈簧(NC)的單作用 |
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| | 3位氣動 | 帶閉合彈簧(NC)的單作用 |
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| 閥體材料 |
| 鋁 |
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| 貫通性 |
| 旋轉式貫通件 |
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| 標準法蘭 |
| ISO-F, ASA-LP, JIS |
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| 泄漏率 | 閥體；閥座 | < 1 × 10-8 mbar ls-1 |
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| 壓力范圍 |
| 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) |
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| 閥板可承受壓差 |
| ≤ 1.2 bar |
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| 打開時可承受壓差 | DN 200
DN 250 - 500 | ≤ 10 mbar
≤ 5 mbar |
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| 首維護前開關次數 |
| 20萬次 |
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| 溫度 | 閥體
驅動器
電磁閥
位置指示器 | ≤ 120 °C
≤ 80 °C
≤ 50 °C
≤ 80 °C |
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| 加熱和冷卻速率 |
| ≤ 30 °C h-1 |
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| 材料 | 閥體，碟型，密封圈
DN 200-400
DN 500
貫通件（與介質接觸的部分） |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6082 (3.2315)
EN AC-42100 (3.2371)
AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) |
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| 密封 | 閥帽 碟型 活力 貫通件 | 氟橡膠 (Viton®) |
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| 安裝位置 |
| 任何位置 |
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| 電磁閥 |
| 24 V DC, 5.4 W (可根據要求提供其他值) |
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| 位置指示器：觸點額定值 | 電壓
電流 | ≤ 50 V AC/DC
≤ 1.2 A |
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| 閥門位置指示 |
| 視覺（機械） |
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