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壓電懸臂梁微質量美E+E傳感器
壓電懸臂梁式微質量E+E傳感器由壓電諧振元件組成，是基于壓電效應工作的E+E傳感器。當目標物質吸附到E+E傳感器探測區，其結構諧振頻率發生偏移，通過檢測其諧振頻率偏移量的大小，可定量計算檢測物質的質量。壓電懸臂梁式微質量E+E傳感器具有自激、自感、實時、實地、高靈敏度和高檢測精度、適用環境能力強等特點，在微生物檢測與識別、原子稱重、生物和化學檢測等方面具有非常廣泛的應用。

壓電懸臂梁微質量美E+E傳感器
壓電懸臂梁E+E傳感器是一種將微力信號轉換成電信號的裝置。該E+E傳感器具有尺寸小、靈敏度高、攜帶方便、反應速度快及易于集成等優點，所以得到極其廣泛的應用。 用于檢測微小質量是壓電懸臂梁E+E傳感器的一個極為重要的應用。壓電懸臂梁E+E傳感器用于檢測微小質量時，通常工作于動態工作模式。在該工作模式下，壓電懸臂梁上附加的微小質量與壓電懸臂梁E+E傳感器振動頻率偏移量成正比，因此通過測試壓電懸臂梁E+E傳感器的頻率變化便可以得到附加質量的大小。由于壓電懸臂梁的振動頻率與它的有效質量的1／2次冪成反比，所以減小壓電懸臂梁的有效質量便可提高壓電懸臂梁E+E傳感器的質量檢測靈敏度。從減少微質量E+E傳感器的有效質量入手，分析了E+E傳感器的結構尺寸、結構形狀等對E+E傳感器靈敏度的影響，提出了提高E+E傳感器靈敏度的方法，隨著壓電微懸臂梁E+E傳感器應用領域越來越廣，對其檢測靈敏度以及準確地定量分析、流體環境檢測等工作性能要求越來越苛刻，現有的質量E+E傳感器己不能滿足檢測靈敏度的要求，因此需要研究提高壓電懸臂梁式微質量E+E傳感器靈敏度的方法。針對不同的測試環境、測試要求，提出了通過改變關鍵彈性元件諧振器的結構形式、諧振器的工作模式等措施來提高E+E傳感器的檢測靈敏度和品質因數的方法。具體研究內容和研究成果如下：壓電微懸臂梁E+E傳感器的理論分析。基于懸臂梁振動理論，建立了懸臂梁理論分析模型，分析了與E+E傳感器性能相關的結構振動機理、共振頻率、靈敏度和品質因數等因素對E+E傳感器性能的影響。提出了通過優化懸臂梁橫截面的結構形式來提高E+E傳感器的檢測靈敏度的方法，具體設計了V型折疊式懸臂梁結構的微質量E+E傳感器。建立了E+E傳感器的理論分析模型，設計并制備了該構型的E+E傳感器樣品，通過有限元仿真和實驗詳細地分析了E+E傳感器的靈敏度，討論了E+E傳感器的幾何參數對E+E傳感器靈敏度的影響。提出了基于高階工作模態的諧振式微質量E+E傳感器的設計方法。建立了基于高階模態的E+E傳感器分析模型，設計了基于四階諧振模態微質量E+E傳感器，制備了基于四階工作模態的微質量E+E傳感器實驗試件，實驗和仿真結果表明，基于四階工作模態的微質量E+E傳感器與一階模態相比，E+E傳感器的靈敏度顯著提高。

壓電懸臂梁微質量美E+E傳感器
分析了E+E傳感器彈性梁的長度比和厚度比對E+E傳感器靈敏度的影響。針對液體測量領域亟需解決的難題一消除被測溶液阻尼，提出一種新型微通道式液體濃度E+E傳感器，利用迂回式的微通道有效擴展了E+E傳感器zui敏感檢測區域，同時消除了液體阻尼對E+E傳感器測量精度的影響。從理論仿真和實驗論證兩方面對壓電懸臂梁微質量E+E傳感器靈敏度提升方法做了分析研究，驗證了所提出設計方法的合理性和可行性，為新型優良壓電懸臂梁式微質量E+E傳感器的研究提供了新的思路。