目錄:上海西努光學(xué)科技有限公司>>日立超聲波影像裝置>>超聲波影像裝置>> WAFER LINE超聲波影像裝置
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
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WAFER LINE超聲波影像裝置是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機(jī)。可以根據(jù)您的要求，機(jī)器人自動搬運(yùn)、自動測定、自動判定，可全自動工作。已經(jīng)積累了在多個客戶的量產(chǎn)線上連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的實(shí)際業(yè)績，獲得了高度的評價。
超聲波影像裝置特點(diǎn)、規(guī)格:
1、根據(jù)您的要求，還可制作以下規(guī)格的裝置。
2、半導(dǎo)體前工序的生產(chǎn)線設(shè)置用裝置內(nèi)處理室清潔度3級(ISO)以上（在潔凈室內(nèi)組裝裝置）。
3、SUS箱體、支持FOUP高速檢查與具有相同分辨率的單焦點(diǎn)探頭設(shè)備相比，電子掃描式陣列探頭設(shè)備可以做到高速顯示。（機(jī)械部分的運(yùn)動少，也有助于保持清潔度）。
4、支持晶圓 4～12英寸晶圓。
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