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MM3A微納操縱儀
功能：用于SEM,FIB和其他顯微平臺下的納米級顯微操縱。微鑷子，弱電流測量屏蔽，旋轉，微力測量等插件進一步拓展MM3A的功能。
功能插件（Plug-in Tools）：
Microgripper微鑷子
Rotationaltip 旋轉臂
Lowcurrent measurement kit 弱電流測量屏蔽套件
Microsoldering unit 微焊接
Microinjector微注射
GasInjection System 氣體注射系統
Forcemeasurement system 微力測量
產品特點（Features）：
納米級精度，厘米級工作范圍
定位的長期穩定性，“零"漂移
可適用于各種SEM/FIB顯微平臺，包括Load lock
豐富的功能插件
技術參數（Specifications）
尺寸：62.1（L）*20.4（W）*25.4mm（H）
重量：45g
操縱范圍：12mm（C軸）, 240o(A,B軸)
位移速度：≥2 mm/s（C軸），≥10 mm/s（A,B軸）
分辨率：0.05nm（C），0.25nm（B），0.5nm（A）
保持力：1N
保持扭矩：3-4Nmm
探針電流范圍：10 nA to 100 mA
最大探針電壓：100V
真空度：10-7 mbar
應用領域（Application）：
原位提取（In-situ lift-out）
納米探測（NanoProbing）
微納操縱（NanoManipulation）
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