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Unique automationswith highest accuracy and stability
具有最高的準確性和穩定性的*自動化系統。
模塊化，自動化，易于使用
寬位移范圍，4nm的分辨率的閉環控制
超穩定的平滑運動，任何速度下最小的振動。
uMs-FN1帶有自動對焦和2位物鏡改變器的立式顯微鏡
顯微鏡：Nikon FN1定制
焦距范圍：40mm
分辨率/重復性：4nm/100nm
尺寸：428 x 170 x 351 mm
帶透射光的底拖可拆卸
uMs-MCU 控制器
控制uMs-MXY，uMs-FN1 focus和 uMs-OBJ
以太網連接
尺寸: 150 x 74 x 49 mm
Motorized XY-stage馬達控制移動平臺
位移范圍: 120 x 85 mm range
分辨率 / 重復性: 4 nm / 100 nm
最大移動速度: 10 mm/s
安裝機械手數量：1-8
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