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    是通過壓電換能器將高頻聲波轉(zhuǎn)換成機械能，再將機械能轉(zhuǎn)換成液體，這種縱向向上和向下的振動在超聲波噴嘴 的應(yīng)用液體薄膜中產(chǎn)生駐波，在那里這些波的振幅可以由功率發(fā)生器控制。這些靜止的液體波可以從超聲噴嘴的頂端向上延伸，當(dāng)液滴離開噴嘴的霧化表面時，被分解成均勻的微米級甚至納米級液滴的細(xì)霧。

超聲波光致抗蝕劑涂層涂覆機工作原理：

    是通過壓電換能器將高頻聲波轉(zhuǎn)換成機械能，再將機械能轉(zhuǎn)換成液體，這種縱向向上和向下的振動在超聲波噴嘴 的應(yīng)用液體薄膜中產(chǎn)生駐波，在那里這些波的振幅可以由功率發(fā)生器控制。這些靜止的液體波可以從超聲噴嘴的頂端向上延伸，當(dāng)液滴離開噴嘴的霧化表面時，被分解成均勻的微米級甚至納米級液滴的細(xì)霧。

優(yōu)勢：

1、噴嘴本質(zhì)上是不堵塞的，具有自我清潔裝置，而且沒有活動部件磨損，大大減少了關(guān)鍵生產(chǎn)過程中的停機時間。

2、噴涂圖案易于成形，便于噴涂，高度可控的噴霧產(chǎn)生可靠、一致的結(jié)果。

3、噴嘴采用耐腐蝕的鈦合金結(jié)構(gòu)，使用壽命長，具有優(yōu)良的聲學(xué)性能，讓應(yīng)用范圍更加廣泛。

4、超低流量能力，很容易控制，可重復(fù)間歇或連續(xù)噴涂。而且由于水滴停留在基材上而不是反彈，大大減少了過噴量（可達80%），這轉(zhuǎn)化為大量的物質(zhì)節(jié)省和減少對環(huán)境的排放。

5、可以霧化各種液體，讓系統(tǒng)適用范圍更廣。

 應(yīng)用：

    如今在很多領(lǐng)域都有超聲波霧化噴涂的身影，其中在替代能源與納米材料、玻璃工業(yè) 印刷電路板、半導(dǎo)體等領(lǐng)域尤為突出。如：超聲波燃料電池催化劑涂層系統(tǒng)，薄膜&鈣鈦礦太陽能電池涂層系統(tǒng)，碳納米管、納米線及其它納米材料涂層系統(tǒng)，薄膜功能玻璃涂層系統(tǒng)，硬質(zhì)涂層及其他薄膜保護玻璃涂層系統(tǒng)，生產(chǎn)焊錫粉的熔融金屬的超聲波噴霧系統(tǒng)，超聲波支架涂層系統(tǒng)，超聲波選擇性熔煉系統(tǒng)，半導(dǎo)體光刻用噴塑光刻膠涂層系統(tǒng)等等。