傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科學技術(shù)發(fā)展水平的重要標志，它與通信技術(shù)、計算機技術(shù)構(gòu)成現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱。在各種傳感器中，壓力傳感器是應用廣泛的一種。石油、汽車、航天等領(lǐng)域的使用要求，使高溫壓力傳感器的研究成為必然。
根據(jù)工作原理劃分，壓力傳感器可分為電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、.電感式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器、電容式壓力傳感器等。其中壓阻式結(jié)構(gòu)是日前研究熱、成果多的一種,它有著高精度、高靈敏度、高頻響等優(yōu)點。壓阻式壓力傳感器是一種新型壓力 傳感器。它的前身是平膜應變傳感器，因此基本測量原理與平膜應變傳感器相同。但它以是半導體材料作為感應膜片，在膜片上使用集成電路擴散工藝制成四個等值壓敏電阻，組成惠斯頓電矯，當膜片受力后、由于材料的壓阻效應。壓敏電阻值發(fā)生變化，使電橋平衡破壞從而輸出電信號以測得壓力的變化，感應膜片結(jié)構(gòu)已成為影響壓阻式壓力傳感器性能的關(guān)鍵。
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