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日本喜開理CKD流量傳感器FSM氣體用琦圣達供應
應用行業：
半導體制造工序（后工序）
日本喜開理CKD流量傳感器FSM氣體用琦圣達供應
產品特點：
【超小型、輕量】（FSM-X系列）
通過分離傳感頭實現了超小型化。
實現了比以往體積減少52%，輕量4G、薄8mm。產品包括傳感頭單體和帶流路模塊兩種類型。
【非線性特性】（FSM-X系列） 
將模擬輸出作為非線性特性，提高了低流量領域的分辨率。
【高速響應】（FSM-V?FSM-X系列）實現了以往無法實現的5ms的高速響應設計
【雙方向測量】（FSM-V?FSM-X系列）
可進行雙方向測量，適合吸附確認用途。
FSM氣體用超小型流量傳感器系列：
日本喜開理CKD公司發展歷程：
1943年 4月 由日本電氣（株）（當時名稱為住友通信工業（株））、川崎重工業（株）（當時名稱為川崎航空機工業（株））、（株）小糸制作所、住友金屬工業（株）、東洋紡織（株）這5家公司共同出資，在名古屋市成立了“日本航空電機株式會社"，注冊資金1,000萬日元。1945年10月公司更名為“中京電機株式會社"。主要業務內容：自動化機械、省力機械、氣動元件（氣缸、方向切換閥）、控制元件（流體閥）、氣源處理三大件等產品的開發、設計以及制造.同時喜開理CKD電控換向閥、喜開理CKD傳感器、喜開理CKD電機等產品受到廣大客戶的青睞。
產品具體詳見：FSM氣體用超小型流量傳感器
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