德國PI小型線性平臺Q-522

Q-522 Q-Motion®小型線性平臺小尺寸、高分辨率、價(jià)格實(shí)惠的壓電電機(jī)

寬僅22毫米、高僅10毫米

小位移高達(dá)2納米

安裝無需轉(zhuǎn)接器的Q-622轉(zhuǎn)臺

采用分辨率高達(dá)1納米的增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量

不帶轉(zhuǎn)接器的XY向安裝

適用于高達(dá)10-6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空達(dá)10-9百帕的版本

壓電慣性驅(qū)動器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價(jià)格實(shí)惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個(gè)壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉(zhuǎn)子。由于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達(dá)20千赫茲時(shí)，驅(qū)動直接作用在動輪上，實(shí)現(xiàn)大為10毫米/秒的速度。

真空和無磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達(dá)10-6百帕。此外，適用于10-9百帕的超高真空版本也可供貨。可按需提供非磁性版本

直接測量原理

可提供帶非接觸式光學(xué)線性編碼器的版本。分辨率為4納米或1納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點(diǎn)開關(guān)

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配, 光子, 光學(xué)對準(zhǔn), 顯微鏡, 高能束線設(shè)備, 半導(dǎo)體技術(shù), 測試

訂購信息

Q-522.000 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為6.5毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10 -6 百帕

Q-522.00U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為6.5毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.030 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為6.5毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.040 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為6.5毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.04U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為6.5毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 22 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.100 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為13毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.10U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為13毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.130 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為13毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.140 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為13毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.14U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為13毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 32 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.200 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為26毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.20U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為26毫米，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，推/拉力為1牛，尺寸為22 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

Q-522.230 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為26毫米，線性編碼器，分辨率為4納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.240 Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為26毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-6 百帕

Q-522.24U Q-Motion® 小型線性平臺，壓電慣性驅(qū)動，行程為26毫米，線性編碼器，分辨率為1納米，推/拉力為1牛，尺寸為32 × 42 × 10毫米(W × L × H)，真空兼容至10-9 百帕

德國PI小型線性平臺Q-522