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地埋式一體化設備由厭氧池、接觸氧化池、二沉池、消毒池、污泥池和風機六部分組成。該設備埋入地下，不占地表面積，對周圍影響。適用于食品、屠宰、釀造、印染等行業和生活污水相類似的機工業廢水和生活廢水。

工藝流程

污水→泵→調節池→厭氧池→接觸氧化池→沉淀池→消毒池→(厭氧池、接觸氧化池、沉淀池需要風機鼓風，且污泥產生)

大中型污水處理設備經常采用的污水處理工藝傳統活性污泥法、生物膜法、SBR、氧化溝等，目前農村成熟的工藝包括活性污泥法和生物膜法。活性污泥法是水體自凈的人工強化方法，是一種依靠在曝池內呈懸浮、流動狀態的微生物群體的凝聚、吸附、氧化分解等來去除污水中機物的方法。活性污泥法需載體，但需設置污泥回流系數及控制污泥濃度、污泥指數等多項指標，其控制較為復雜，但因其需載體，在污水處理量較大的情況下較多。  生物膜法是土壤自凈（如灌溉田）的人工強化方法，是一種使微生物群體附著于某些載體的表面上呈膜狀，通過與污水接觸，生物膜上的微生物攝取污水中的機物作為營養并加以代謝，從而使污水得到凈化的方法。生物膜法采用生物固定技術，需污泥回流，控制較為簡單。同時生物膜法適合采用分級處理，微生物能根據不同級的污水濃度自然分相，且生物膜培養較快（一般夏天為3-7天，冬天為10-15天），調試后，可操作性較強，適合于水量較小的工程。

生物接觸氧化工藝是結合生物濾池和生物曝池的點演變過來的，屬于固著型生物處理方法。生物接觸氧化工藝的實質之一是在池內充填填料，已經充氧的污水浸沒部填料，并以一定的流速流經填料。在填料上布滿生物膜，污水與生物膜接觸，在生物膜上微生物的新陳代謝功能的下，污水中機污染物得到去除，污水得到凈化；實質之二是采用與曝池相同的曝方法，向微生物提供其所需要的氧，并起到攪拌與混合的。因此，生物接觸氧化工藝是具活性污泥法點的生物膜法，兼具兩者的優點。