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紫外線是一種肉眼看不見的光波存在于光譜紫外線端的外側，故稱之為紫外線，依據(jù)不同的波長范圍，被割分頭A、B、C 三種波段，其中的 C 波段紫外線波長240-260nm之間，為有效的殺菌波段，波段中之波長強點是 253.7nm。超純水機紫外消毒的殺菌原理是利用紫外線光子的能量破環(huán)水體中各種病毒、細菌以及其它致病體的 DNA 結構。主要是使 DNA 中的各種結構鍵斷裂或發(fā)生光化學聚合反應，例如使DNA中THYMINE 二聚，從而使各種病毒、細菌以及其它致病體喪失復制繁殖能力，達到滅菌的效果。波長為 185nm 的紫外線與空氣作用會產生臭氧，臭氧是強氧化劑,具有殺菌效果和對有機物的消解作用，能有效的降低TOC。

紫外線滅菌儀在小流量的純水設備中常見，作為有效的滅菌裝置，可以對通過過流腔的溶液內的細菌、病毒進行處理。殺菌的效率與 253.7nm 波長的紫外線與液體接觸的時間，以及照射強度有關。紫外燈管都有一定的壽命，長期使用的紫外燈管照射強度降低，影響滅菌效果，應予以更換。

常見的紫外滅菌儀分為過流式和浸沒式，優(yōu)普使用的過流式通常由過流腔體(304 不銹鋼材質，內壁拋光)、紫外燈管、套管(石英玻璃對紫外線無阻擋)、電源構成，高檔的過流式紫外滅菌儀還有計時器和光強監(jiān)測，可以觀測紫外燈管的使用時間和紫外線的照射強度。