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Entegris FV-50DI扩散器WG3D50DR2优势简介
阅读：366 发布时间：2022-3-30Entegris FV-50DI扩散器WG3D50DR2优势简介
功能和优点
烧结镍技术
在一个紧凑的扩散器单元中
提供的性能
在所有应用中
去除大于
距离进气0.0015µm
最小化晶圆上的缺陷
易于安装/改装到
现有工具
最大限度地减少?；奔洌ò?/span>
加载锁室，冷却
钱伯斯，转移钱伯斯
（和工艺室）
制造、测试和测试
包装在洁净室
确保产品的清洁度
安装时间
快速排气，温和流动
大气
减少循环时间，增加
吞吐量和OEE
额定循环次数为100000次
换衣服之前
稳健高效
尚伯加德™
快速排气扩散器
减少空气中的颗粒和排气时间
负载锁定和传输室
尚伯加德™ 快速排气扩散器是可靠排气的选择
通过最小化负载锁定通风循环来提高系统吞吐量
时间这些扩散器向大气快速排气
无需干扰或向腔室中的晶片添加颗粒。
它们结合了扩散器的流动特性和高流动性
高效过滤器可提高效率和吞吐量
IOVENZANA 速优源品质PL005021
速优源品质
Italvibras 速优源品质MVSI3/800-S020.65KW 380V 3000HZ 0.09mm
TOSRAKOVNIK 速优源品质TR1-04T-1
EMG Automation 速优源品质EB800-60 II NR.199308
PHOENIX CONTACT 速优源品质TYP DEK1.5 DEK-REL-24/1/1 Art.Nr.:2940171
JAQUET 速优源品质1810.00S1TV
速优源品质
ODE 速优源品质BDV08230AY
JETTER 速优源品质JL3-0250-25-3RVBS-A
速优源品质
SCHRACK 速优源品质ZR 058290
速优源品质
速优源品质
voss 速优源品质G1/8 17 84 22 20 00
Gneuss 速优源品质MT102B50Z004800 DAI-2E2-12A-B50Z-S0-F5-R-W-6P
速优源品质
PCH 速优源品质PCH 1270/CHF8004
ENGLER 速优源品质ANM-25.305.2,5
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