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XTrace-基于SEM高性能微區熒光光譜儀

   XTrace是一款可搭配在任意一臺具有傾斜法蘭槽 SEM上的微焦點Ｘ射線源。利用該設備可使SEM具備完整意義上的微區 XRF光譜分析能力。對于中等元素至重元素范圍內的元素，其檢測限提高了 20-50倍。此外，因為Ｘ射線的信號激發深度深于電子束，利用該設備還可以檢測更深層次樣品的信息。

XTrace-基于SEM高性能微區熒光光譜儀采用了Ｘ射線毛細導管技術，利用該技術，即使在非常小的樣品區域也能產生很高的熒光強度。Ｘ射線毛細導管將Ｘ射線源的大部分射線收集，并將其聚焦成直徑35微米的一個Ｘ射線點。
      利用QUANTAX EDS*系統的 XFlash®系列電制冷能譜探頭即可對所產生的Ｘ射線熒光光譜進行采集。 XFlash®電制冷能譜探頭使整個系統具備了非常高的能量分辨率，同時兼具了強大的信號采集能力。比如，利用有效面積 30 mm²的探頭在分析金屬元素時的輸入計數率可達 40 kcps。
      Ｘ射線毛細導管技術使熒光強度得到極大的增強，同時，熒光光譜的背底較低，這些都提高了系統對痕量元素的敏感度。相較于電子束激發的信號，其檢測限可提高 20-50倍。而且，因為Ｘ射線源激發信號對于高原子序數元素更有效，所以高原子序數元素檢測限可提高至 10ppm。
       QUANTAX能譜儀系統和微區熒光光譜儀系統可在同一用戶界面內結合使用，從而互相補強，實現定量分析結果的優化。

用戶友好型設計
聚焦于分析任務，而非繁瑣的系統設置
       利用ESPRIT HyperMap進行面分布分析的同時采集了所有的數據并存儲，便于后續的離線分析。
       樣品可利用 EDS系統和 micro-XRF系統并行進行分析，而無需任何的樣品移動。
       兩種分析方法無縫整合在同一分析軟件 ESPRIT中，切換分析方法只需輕點鼠標。
       XTrace不會干擾任何 SEM及EDS操作。
僅需點滴投入，即可獲得獨立微區熒光光譜儀的強大功能
       分析結果可與獨立系統媲美。
       樣品傾斜后可對更大區域進行面分布
       提供三個初級濾片以壓制衍射峰
       直接利用掃描電鏡樣品臺，無需其他的樣品臺裝置。
       通過掃描電鏡樣品臺的旋轉輕松避免譜圖中衍射峰的出現。
       可傾斜樣品以獲得小束斑直徑。