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一、產品介紹
機床激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是高精度、高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
二、產品特點
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
三、機床激光干涉儀產品配置
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
四、配件與證書
序號 | 名稱 | 明細 | 備注 |
1 | SJ6000主機 | 1臺，配云臺、電源適配器 | 標配 |
2 | 通用三腳架 | 1個，配便攜包 | |
3 | 筆記本電腦 | 1臺，配測量軟件 | |
4 | 環境補償單元 | 環境補償主機：1個，內置空氣濕度和大氣壓力傳感器 | |
空氣溫度探頭：1個，線長5米 | |||
材料溫度探頭：3個，線長5米 | |||
5 | 標配附件 | USB線2根 | |
水平儀1個，磁性表座2個 | |||
輔助安裝塊1塊，安裝柱4節 | |||
6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個；夾緊孔座2個 | |
7 | 便攜式拉桿箱 | 1個，外尺寸：613mm×460mm×230mm | |
8 | 三坐標測頭夾具 | 1套 | 選配 |
9 | 對角線測量套裝 | 1套 | 選配 |
10 | 可調轉向鏡 | 1個 | 選配 |
11 | 輕型線性鏡組 | 小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個 | 選配 |
12 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個 | 選配 |
13 | 平面度鏡組 | 180mm、360mm可調基板，各1個；平面度旋轉鏡2個 | 選配 |
14 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡，各1個 | 選配 |
15 | 長直線度鏡組 | 長距離直線度干涉鏡、長距離直線度反射鏡，各1個 | 選配 |
16 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡、90度轉向鏡、底座、M8接頭，各1個 | 選配 |
17 | 垂直度鏡組 | 光學直角尺、90°轉向鏡輔助安裝塊，各1個 | 選配 |
18 | 自動精密轉臺 | 1臺，配卡盤、USB數據線、電源適配器、藍牙工具 | 選配 |
19 | 正交觸發盒 | 1臺，配電源適配器、觸發數據線 | 選配 |
20 | 工作服 | 夏、冬實驗室工作服，各1件 | 選配 |
五、注意事項
對角線測量套裝配置需求：對角線測量套裝＋可調轉向鏡
平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
