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應用領域 | 醫療衛生,環保,化工 |
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MFC-E系列緊湊型質量流量控制器(MassFlowController)是一款專為氣體分析儀、質譜儀、配氣儀等行業所開發的一款高精度、低溫漂、高可靠性的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有高精度流量傳感器、進電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等優點。操作使用方便,可廣泛用于。輸出和控制信號包括:0-5V模擬信號和RS485數字通信方式。
緊湊型質量流量控制器產品應用于:半導體加工、分析和環保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比