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尘埃粒子计数器是一种在洁净领域应用广泛的重要仪器

阅读:1478        发布时间:2021-12-20
  随着工业化生产环境对洁净度的要求不断提高,激光尘埃粒子计数器技术得到了快速蓬勃的发展。从军工领域迈进民用,从技术渗透进社会各个层面,以激光尘埃粒子计数器为代表的洁净技术正在逐步提高人类社会的生产能力、改善人类的居住环境。在半导体制造业中,社会对电子元件尺寸要求愈加苛刻,生产加工环境的洁净度将直接影响产品的合格率,据统计约超过80%因为电学特性失效的电子芯片是由于生产环境中尘埃粒子的污染造成以半导体材料硅片为例,空气的尘埃粒子能引起芯片电路元件开路或者短路。而在医疗卫生领域,药品生产过程需要尽可能避免尘埃粒子、微生物等颗粒的污染。
  尘埃粒子计数器是一种在洁净领域应用广泛的重要仪器,主要用于评定洁净室洁净度等级,还可用来检测过滤器的过滤效率、洁净织物的发尘量。使用的行业包含电子厂、药厂、医疗器械厂以及检测实验室等等。是利用光的散射原理对空气中的尘埃粒子数目和粒径进行计量,工作原理:来自光源的光线被透视镜组聚焦于检测区域,尘埃粒子计数器通过采样泵使采样空气通过该区域。当一个尘埃粒子(简称粒子)通过时,便把入射光散射一次,产生一个光脉冲信号,经过放大、甄别,筛选出需要的信号,再通过计数系统显示出来,电脉冲信号的高度反映粒子的大小,信号的数量反映了粒子的个数。主要关注的技术指标就是粒子的大小和个数。
  尘埃粒子计数器是应用Mie氏散射原理测量流体中单分散尘埃粒子的散射光强度以判断粒子粒径的精密计数仪器。以规定的流量从待测样品中进行采样,采样气流的粒子在通过激光均匀照明的光敏感区域时,尘埃粒子产生散射光,散射光收集系统把一定范围内的散射光光通量收集起来并由光电传感器转换为脉冲电压信号。
  脉冲信号的幅度和粒子粒径的大小成正比,可采用电压幅度甄别器来甄别脉冲信号电压的幅值,再送出数据进行处理。由于微米量级的粒子散射光强度很弱,需将信号前置放大为幅值足够的电脉冲信号,再进行信号非线性放大处理。然后根据电脉冲幅值的大小甄别以送入不同粒径档通道计数,在显示器显示一个计数周期内各个计数档的粒子数目。

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