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質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器常用術(shù)語有哪些,它們各代表什么含義?

閱讀:2396      發(fā)布時間:2022-12-26
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1: 流量術(shù)語

體積流量也叫工況流量,即單位時間內(nèi)實時溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為:ml/min和L/min。

標況流量:通過溫度、壓力補償后得到的體積流量。標況一般定義(1)壓力1個大氣壓(101.325KPa)(2)溫度:0℃/15℃/20℃/25℃,具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(25℃,101.325KPa),單位一般為:SCCM和SLPM 。

質(zhì)量流量:單位時間內(nèi)流體流過管道橫截面的質(zhì)量 。易度質(zhì)量流量控制器測量出的是標況流量,需要計算氣體實際質(zhì)量時,可用密度乘以標況流量即可得出。

瞬時流量:當時間很短時,流體流過一定截面的量稱為瞬時流量。                                                

累計流量:氣體通過某一截面的瞬時流量在一定時間內(nèi)的累積值。

設(shè)定流量:質(zhì)量流量控制器專用術(shù)語,MFC通過控制比例調(diào)節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值,設(shè)定流量一般為標況流量。

2工況術(shù)語

工作溫度:包括被測介質(zhì)溫度和使用環(huán)境溫度。易度質(zhì)量流量控制器適用溫度范圍為:-50℃到110℃(介質(zhì))。

工作壓力:指流經(jīng)質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器時,被測氣體的絕對靜壓。易度質(zhì)量流量控制器適用工作壓力一般為1MPa以下,最大不能超過3MPa。壓力單位一般為:MPa、KPa、

Pa、Psi,易度產(chǎn)品可自如切換。

耐壓:質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器在不損壞的情況下所能承受的最大壓力,易度質(zhì)量流量控制器一般可承受的壓力為1MPa,最大2.5MPa。

壓差:氣體流經(jīng)管路高壓端與低壓端的壓強差。

壓損:氣體流經(jīng)質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器而產(chǎn)生的不可恢復(fù)的壓力降。易度質(zhì)量流量計標準型號壓損為4KPa,最小可達400Pa。

預(yù)熱時間:主要針對熱式質(zhì)量流量控制器,是指加熱金屬絲達到溫度穩(wěn)定的時間。易度質(zhì)量流量控制器無需預(yù)熱,可直接使用。

通訊方式:質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器與配套設(shè)備控制系統(tǒng)之間的通訊,常用的有模擬信號和數(shù)字信號。易度質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器通訊方式可選:模擬信號(4-20)mA、(0-5)V,數(shù)字信號RS485、Profibus等。

管路連接:質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器與管路的連接方式,根據(jù)管路材質(zhì)(軟管、金屬硬管等)和管路內(nèi)外徑尺寸,可選卡套接頭、VCR接頭、快插接頭、快擰接頭等。

介質(zhì):被測氣體的種類,易度質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可測量單一純凈氣體,或明確氣體種類和比例的混合氣體。若為強腐蝕氣體,建議選用耐腐蝕型號。若為易燃易爆氣體,建議選用防爆型號。

3: 性能術(shù)語

量程質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可測得的最大流量,易度質(zhì)量流量控制器量程范圍:從0.5sccm到5000slpm。

量程比:質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器能夠測量控制的最大流量和最小流量比值,易度質(zhì)量流量控制器標準型量程比為100:1,也可定制更寬量程比。

精度質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器測得的標況流量顯示值與標準裝置流量值的誤差比。易度質(zhì)量流量控制器的精度為±1%S.P(設(shè)定值精度),最高可達±0.5%S.P(設(shè)定值精度)。

精度保證范圍:保證質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器精度的氣體流量范圍,易度質(zhì)量流量控制器標準型號為:20%-100%F.S(滿量程),寬量程型可達10%-100%F.S(滿量程)。

重復(fù)性:在同一工作條件下,質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器對同一輸入值按同一方向連續(xù)多次測量的輸出之間的相互一致程度,也叫重復(fù)性誤差,易度質(zhì)量流量控制器重復(fù)性可達±0.2%/F.S(滿量程)。

可靠性:質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器在一定時間內(nèi)、在一定條件下地執(zhí)行功能的能力或可能性。

響應(yīng)時間:質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器接通電源后至其達到規(guī)定性能指標所需的時間,易度質(zhì)量流量控制器具有毫秒級響應(yīng)速度。

抗電磁干擾:電磁干擾是干擾電纜信號并降低信號完好性的現(xiàn)象,會造成流量計精度損失,特別是射頻電源對模擬信號的干擾現(xiàn)象尤為明顯,易度質(zhì)量流量控制器抗電磁干擾能力強,經(jīng)西安高壓電器研究所抗電磁干擾檢測認證。



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