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目錄:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司>>CVD及PECVD系統(tǒng)>>CBD/PECVD系統(tǒng)>> GSL-1700X-F3LV1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
  • 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 品牌
  • 型號 GSL-1700X-F3LV
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 沈陽市
屬性

>

更新時間:2016-04-12 10:00:35瀏覽次數(shù):1531評價

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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,Z高工作溫度可達1700℃,混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進行精確的混氣,真空度可達5×10-2 torr。

 

產(chǎn)品型號

  1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

主要特點

  1雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。

  2采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。

  3內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命

  4PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

  5通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1電源:單相AC 208-240V   50/60Hz  5KW

  2、爐管:99.8%高純氧化鋁陶瓷管,外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ72mm,長1000mm

  3、加熱元件:1800級硅鉬棒8

  4、加熱區(qū)域:457mm

  5、恒溫區(qū)域:150mm

  6工作溫度:zui高1700

  7、zui大升降溫速率:5/min

  8、控溫精度:±1

  9、真空度:5×10-2 torr

  10、泄漏率:zui大6mtorr/min

  真空系統(tǒng)

  1、真空泵:雙旋片機械泵

  2、可達真空度:5×10-2 torr

  3、法蘭:不銹鋼密封法蘭

  4、針閥:2個不銹鋼針閥

  5、真空泵接口:KF-25

  6、軟管接頭:1/4

  7、真空顯示計:LED數(shù)字式真空顯示計,測量范圍0.1mtorr-850torr

  浮子流量混氣系統(tǒng)

  1、浮子流量計:3個,精確度4%FS

  2、流量計范圍:10-100cc/min16-160cc/min25-250cc/min

  3、壓力表:1個,監(jiān)測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm,真空機組600mm×

             600mm×700mm

  重量:210kg

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計

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