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差壓式氣體質量流量計5910DD4用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。
其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
黑龍江差壓式氣體質量流量計5910DD4產品參數：
量程范圍 | 0.2～5kg/h |
測控范圍 | 流量計量程比100:1 控制器量程比50：1 |
準確度（滿量程） | 氣體：±0.5.0%F.S、液體±0.25.0%F.S |
穩定性 | ±0.1%F.S |
重復精度 | ±0.05%F.S |
響應時間 | <0.2s |
數字量 | RS232/485，MODBUS協議 |
模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
供電 | ±15VDC，24VDC |
工作溫度 | 0～70℃ |
壓力等級 | 100bar |
最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
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